株式会社村田制作所杉林英明获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社村田制作所申请的专利压力传感器元件、压力传感器模块及其信号校正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115803598B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180048158.4,技术领域涉及:G01L9/12;该发明授权压力传感器元件、压力传感器模块及其信号校正方法是由杉林英明设计研发完成,并于2021-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本压力传感器元件、压力传感器模块及其信号校正方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种对电极间的静电电容的变化进行探测的压力传感器元件。压力传感器元件1具备电绝缘性的基板10、基底电极层20、间隔部30、31、保护电极层30A以及膜板40等。作为传感电极部的传感电极S及作为监视电极部的监视电极M1~M4以与基板10相向的方式设置于膜板40。监视电极M1~M4在被安装到电路基板的情况下对在间隔部30、31产生的应力应变进行探测。根据这样的结构,即使是在安装到电路基板之后也能够实现高测定精度。
本发明授权压力传感器元件、压力传感器模块及其信号校正方法在权利要求书中公布了:1.一种压力传感器元件,对电极间的静电电容的变化进行探测,所述压力传感器元件具备: 基底电极部; 传感电极部,其与该基底电极部一起构成传感电容器,能够与周围压力差相应地变形; 间隔部,其维持所述基底电极部与所述传感电极部之间的间隙;以及监视电极部,其与所述基底电极部一起构成监视电容器,对在该间隔部产生的应力应变进行探测,其中,所述监视电极部包括分别配置在相对于所述传感电极部的左右外侧和或上下外侧的多个监视电极,所述多个监视电极分别与不同的监视端子电连接,所述监视电容器中包括的监视间隙与所述传感电容器中包括的传感间隙从流体的角度来看是隔离的。
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