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龙图腾网获悉四川九天真空科技有限公司申请的专利一种半导体真空插板阀及其密封方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115750821B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211728206.7，技术领域涉及：F16K3/18；该发明授权一种半导体真空插板阀及其密封方法是由张晓剑;胡开鹏;贾媛滢;宋铠钰;张智明;陈林设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体真空插板阀及其密封方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体真空插板阀，阀杆包括外阀杆与内阀杆，外阀杆套设在内阀杆的外侧且与阀体活动密封连接；内阀杆与外阀杆均与驱动装置连接；阀体的内腔位于阀杆的外侧设置有波纹管组，波纹管组一侧与阀体连接另一侧与外阀杆上的连接板连接；阀芯组件包括阀板与阀芯架，阀板不与阀体的内腔的底部接触；阀芯架内设置有运动腔，运动腔两侧设置有开口；阀板的一侧固接有连接杆，连接杆与开口活动密封连接且连接杆的一侧穿过开口位于运动腔内，连接杆位于运动腔内的一侧设置有碟簧；内阀杆的一侧位于运动腔内部；运动腔内还设置有卡板，卡板一侧与连接杆连接，另一侧与内阀杆连接。通过这种设计能够防止插板阀污染晶圆。

本发明授权一种半导体真空插板阀及其密封方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体真空插板阀，包括阀体1、阀杆与阀芯组件，其中阀体1上设置有进气口2与出气口9，阀杆用于推动阀芯组件封堵进气口2与出气口9，其特征在于：阀杆包括外阀杆5与内阀杆4，外阀杆5套设在内阀杆4的外侧且与阀体1活动密封连接；内阀杆4与外阀杆5均与驱动装置连接；外阀杆5内设置有回位腔18，回位腔18内设置有弹簧19，弹簧19一侧与回位腔18的底部连接，另一侧与内阀杆4连接； 阀体1的内腔位于阀杆的外侧设置有波纹管组6，波纹管组6一侧与阀体1连接另一侧与外阀杆5上的连接板7连接，波纹管组6将外阀杆5包裹起来形成密封空间；阀芯组件包括阀板3与阀芯架11，阀板3不与阀体1的内腔的底部接触；阀芯架11与外阀杆5上的连接板7固接，阀芯架11内设置有运动腔12，运动腔12两侧设置有开口；阀芯架11使得内阀杆4、卡板14与连接杆10之间形成一个密封空间； 阀板3的一侧固接有连接杆10，连接杆10与开口活动密封连接且连接杆10的一侧穿过开口位于运动腔12内，连接杆10位于运动腔12内的一侧设置有碟簧16； 内阀杆4的一侧位于运动腔12内部；运动腔12内还设置有卡板14，卡板14一侧与连接杆10连接，另一侧与内阀杆4连接；内阀杆4靠近底部的位置设置有截面为直角三角形的卡槽，卡板14一侧卡接在卡槽内。

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