应用材料公司小温德尔·格伦·博伊德获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有沉积表面特征结构的基板支撑组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115527915B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211186463.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权具有沉积表面特征结构的基板支撑组件是由小温德尔·格伦·博伊德;维贾伊·D·帕克赫;郭塘坊;丁震文设计研发完成，并于2016-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有沉积表面特征结构的基板支撑组件在说明书摘要公布了：一种制造静电卡盘的方法，包括抛光静电卡盘的陶瓷主体的表面，以产生抛光表面，并将陶瓷涂层沉积到所述陶瓷主体的所述抛光表面上，以产生经涂布的陶瓷主体。所述方法进一步包括在所述经涂布的陶瓷主体之上设置掩模，所述掩模包括多个椭圆形孔，并通过所述掩模的所述多个椭圆形孔沉积陶瓷材料，以在所述经涂布的陶瓷主体上形成多个椭圆形台面，其中所述多个椭圆形台面具有圆边。然后从所述经涂布的陶瓷主体移除所述掩模，并抛光所述多个椭圆形台面。
本发明授权具有沉积表面特征结构的基板支撑组件在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘，包括： 陶瓷主体，所述陶瓷主体包括嵌入式电极； 第一陶瓷涂层，所述第一陶瓷涂层在所述陶瓷主体的表面上，其中所述第一陶瓷涂层填充所述陶瓷主体中的孔隙； 在所述第一陶瓷涂层上的第二陶瓷涂层；和在所述第二陶瓷涂层上的多个台面，所述多个台面具有圆边。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号