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龙图腾网获悉铠侠股份有限公司申请的专利测量装置、测量程序及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115493498B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210066030.7，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权测量装置、测量程序及测量方法是由笠健太郎设计研发完成，并于2022-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本测量装置、测量程序及测量方法在说明书摘要公布了：实施方式提供一种提高形成在对象物的图案的位置偏移量的算出精度的测量装置、测量程序及测量方法。实施方式的测量装置为测量形成于对象物的表面的图案的位置偏移量的测量装置。测量装置具备：测定部，测定通过对形成第1图案后且形成第2图案前的对象物照射光而产生的第1衍射光的第1二维强度分布、及通过对形成第2图案后的对象物照射光而产生的第2衍射光的第2二维强度分布；存储部，保存表示第1二维强度分布的第1测定数据、与表示第2二维强度分布的第2测定数据；运算部，通过执行使用第1测定数据、与第2测定数据的运算处理，取得第1测定数据与第2测定数据的差量数据，并基于差量数据，算出第1图案与第2图案的差量图案的位置偏移量。

本发明授权测量装置、测量程序及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种测量和计算装置，用于测量和计算对象物的表面的图案的位置偏移量，且所述装置具备： 测定部，包含至少一个测定装置，所述测定装置包含：光源，照射光；及摄像装置，具有接收光的图像传感器，且所述至少一个测定装置配置为：I控制所述光源对形成第1图案后且形成第2图案前的所述对象物照射光而产生第1衍射光，使用所述图像传感器接收所产生的所述第1衍射光，并测定所接收的所述第1衍射光的第1二维强度分布；以及II控制所述光源对形成所述第1图案及所述第2图案后的所述对象物照射所述光而产生第2衍射光，使用所述图像传感器接收所产生的所述第2衍射光，并测定所接收的所述第2衍射光的第2二维强度分布，其中所述第1图案具有第1物体图案与第2物体图案，所述第2图案具有所述第1物体图案、所述第2物体图案与第3物体图案； 存储部，包含至少一个存储装置，所述存储装置包含硬盘驱动器与固态硬盘中的至少一个，所述至少一个存储装置配置为保存第1测定数据与第2测定数据，所述第1测定数据表示所述第1二维强度分布，所述第2测定数据表示所述第2二维强度分布的第2测定数据；及运算部，包含计算机，通过执行使用所述第1测定数据与所述第2测定数据的运算处理，取得所述第1测定数据与所述第2测定数据之间的差量数据，并基于所述差量数据，算出所述第1图案与所述第2图案之间的差量图案的位置偏移量，所述差量图案具有所述第1物体图案与所述第3物体图案，但不具有所述第2物体图案。

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