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上海微电子装备(集团)股份有限公司刘亚获国家专利权

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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种激光轮廓检测装置及检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115436017B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110624495.5,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种激光轮廓检测装置及检测方法是由刘亚设计研发完成,并于2021-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种激光轮廓检测装置及检测方法在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种激光轮廓检测装置及检测方法。其中激光轮廓检测装置包括矩孔模块、能量探测器、移动模块以及处理模块;矩孔模块设置于光束生成模块的光输出端,矩孔模块包括一矩形通光孔;能量探测器设置于矩形通光孔的出光侧,用于探测矩形通光孔透射光的光强;移动模块与光束生成模块和或矩孔模块连接,用于带动光束生成模块和或矩孔模块移动,以使矩形通光孔依次透过激光光束各个位置的光线;处理模块与能量探测器电连接,用于根据能量探测器接收的信号得出激光光束的二维轮廓分布。本发明实施例的技术方案,可以实现兼容大尺寸、中远红外、大长宽比的光斑轮廓测量。

本发明授权一种激光轮廓检测装置及检测方法在权利要求书中公布了:1.一种激光轮廓检测装置,其特征在于,用于检测光束生成模块输出的激光光束的二维轮廓分布,所述激光轮廓检测装置包括矩孔模块、能量探测器、移动模块以及处理模块; 所述矩孔模块设置于所述光束生成模块的光输出端,所述矩孔模块包括一矩形通光孔; 所述能量探测器设置于所述矩形通光孔的出光侧,用于探测所述矩形通光孔透射光的光强; 所述移动模块与所述光束生成模块和或所述矩孔模块连接,用于带动所述光束生成模块和或所述矩孔模块移动,以使所述矩形通光孔依次透过所述激光光束各个位置的光线; 所述处理模块与所述能量探测器电连接,用于根据所述能量探测器接收的信号得出所述激光光束的二维轮廓分布; 所述矩孔模块包括一遮光平板,所述矩形通光孔位于所述遮光平板的中心; 所述移动模块用于带动所述光束生成模块和或所述矩孔模块沿第一方向以第一距离s1依次平移,或者带动所述光束生成模块和或所述矩孔模块沿第二方向以第二距离s2依次平移; 所述第一方向和所述第二方向垂直,且所述第一方向和所述第二方向均平行于所述遮光平板所在平面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1525号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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