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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利一种涡轮分子泵用定子防尘组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115263776B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211058220.0，技术领域涉及：F04D19/04；该发明授权一种涡轮分子泵用定子防尘组件是由张德伟;汤介峰;荆泉;陈力均设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种涡轮分子泵用定子防尘组件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种涡轮分子泵用定子防尘组件，具体涉及半导体领域领域，包括泵壳，泵壳的内部具有空腔，泵壳的顶端固定安装有护网，泵壳的底端通过螺纹连接有底盖，底盖的顶端固定安装有定子，定子的表面固定连接有固定基座，固定基座外围转动连接有转子，转子的表面自上而下等间距固定安装有多组动叶片，其技术要点为：通过在转子和固定基座之间设置有刚性套筒组件，刚性套筒组件包含有刚性套筒本体和套筒导向槽，套筒导向槽呈螺纹旋转向下，且套筒导向槽的旋转方向与动叶片的偏转方向一致，当转子进行旋转带动气流旋转而下顺着套筒导向槽的槽口进入，在不影响气流流动的同时防止气流进行反涌，从而达到防尘的效果。

本发明授权一种涡轮分子泵用定子防尘组件在权利要求书中公布了：1.一种涡轮分子泵用定子防尘组件，包括泵壳，其特征在于：所述泵壳的内部具有空腔，所述泵壳的顶端固定安装有护网，所述泵壳的底端通过螺纹连接有底盖，所述底盖的顶端固定安装有定子，所述定子的表面固定连接有固定基座，所述固定基座外围转动连接有转子，所述转子的表面自上而下等间距固定安装有多个动叶片组，每一个所述动叶片组包含有多个动叶片，且多个动叶片关于转子的竖直中心线呈轴对称分布设置，所述动叶片与转子的水平中心线之间呈30°设置，所述转子与定子之间呈磁浮悬连接； 所述转子和固定基座之间留有间隙，所述间隙内部设置有刚性套筒组件，所述刚性套筒组件固定连接于固定基座的表面，所述刚性套筒组件包含有刚性套筒本体和固定安装于刚性套筒本体表面的套筒导向槽，所述套筒导向槽呈螺纹旋转向下，且套筒导向槽的旋转方向与动叶片的偏转方向一致； 所述底盖表面固定连接有中心固定杆和四组固定连接直杆，所述固定连接直杆关于中心固定杆的竖直中心线呈轴对称分布设置，所述中心固定杆和固定连接直杆的底端与泵壳的底端齐平； 所述中心固定杆与底盖之间设置有十字孔塞，所述十字孔塞与中心固定杆、十字孔塞与固定连接直杆之间呈滑动状态设置，所述底盖的表面开设有四组散热孔，所述散热孔的位置与十字孔塞的四个端角的位置上下对应。

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