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龙图腾网获悉卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请的专利多射束光栅单元和多射束带电粒子显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115244645B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180018794.2，技术领域涉及：H01J37/147；该发明授权多射束光栅单元和多射束带电粒子显微镜是由Y.萨罗夫;U.比尔;H.弗里茨;D.蔡德勒;G.库里杰;R.伦科;A.G.梅杰;C.里德塞尔设计研发完成，并于2021-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本多射束光栅单元和多射束带电粒子显微镜在说明书摘要公布了：提供了多射束带电粒子显微镜的多射束光栅单元——诸如多射束生成单元、多射束偏转单元——的某些改进。改进包括多射束光栅单元的设计、制造和调整，包括特定形状和尺寸的孔。改进能够以更高的精度生成多射束生成和多射束偏转或消像散。这些改进与多射束带电粒子显微镜的常规应用相关，例如其中需要高可靠性和高再现性以及低机器对机器的偏差的半导体检验和审查中。

本发明授权多射束光栅单元和多射束带电粒子显微镜在权利要求书中公布了：1.一种多射束光栅单元，所述多射束光栅单元被配置用于在使用期间形成用于影响带电粒子的多个传输子射束的多个静电元件，所述多射束光栅单元包括： ‑第一多孔板，所述第一多孔板具有内区、射束入射侧和射束出射侧，所述内区形成具有第一厚度L1和具有多个第一孔的膜，‑所述第一多孔板的所述膜包括至少第一段和第二段，所述第一段具有第一段厚度L1.1且在所述射束入射侧具有多个具有第一直径D1的圆柱形孔，并且所述第二段在所述射束出射侧具有多个具有第二直径D2的孔，‑第二多孔板，所述第二多孔板具有内区和射束入射侧，所述内区形成的膜具有多个第二孔，并且所述多个第二孔在所述射束入射侧具有第三直径D3，‑所述第一多孔板和所述第二多孔板的膜之间的厚度L2的间隙，‑至少第一电极，被配置在所述第一多孔板的射束出射侧在第一多孔板的至少一个第一孔附近，以及‑至少多个第二电极，被配置在所述第二多孔板的所述射束入射侧在第二多孔板的所述多个第二孔附近，用于在使用期间在所述多个第一多孔板的多个第一孔与所述第二多孔板的第二孔之间形成所述多个静电元件，‑其中，所述第二直径D2大于所述第一直径D1，并且其中，所述第二直径D2在第二厚度L2与所述第二厚度L2的两倍之间的范围内，因此L2D22*L2，并且‑其中，所述第一段厚度L1.1小于10μm，并且‑其中，所述第一电极与所述多个第二电极中的每一个被配置用于在使用期间形成用于影响带电粒子的多个传输子射束的静电元件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司，其通讯地址为：德国上科亨；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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