买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉河南大学申请的专利一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115101398B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210704210.3，技术领域涉及：H01J37/302；该发明授权一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统是由杨光红;杨锋;黄晓伟;田宝丽;贾彩虹;王洪哲;程轲;程纲设计研发完成，并于2022-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统在说明书摘要公布了：本发明涉及微纳米技术领域，特别是涉及一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统，包括：模型构建模块，基于待构筑微纳结构的形态和特点，构建3D结构模型，并生成数字控制信号及直写过程中电子束的驻留时间和扫描速率；数模转换模块，对数字控制信号进行数模转换和放大，得到模拟控制信号；工作台模块，用于承载待写材料，并调整待写材料的角度；电子束模块，用于发射电子束并聚焦在待写材料的上方，并控制电子束的焦点按照设定路径进行扫描，对待写材料进行直写，得到待构筑微纳结构；束闸模块，进行打开和关闭，以控制电子束是否聚焦在待写材料的上方。本发明能够灵活便捷、低成本地实现微纳结构及纳米器件的直写构筑，材料普适性宽。

本发明授权一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统在权利要求书中公布了：1.一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统，其特征在于，包括： 模型构建模块，基于待构筑微纳结构的形态和特点，构建3D结构模型，并基于所述3D结构模型的特征，生成数字控制信号及待构筑微纳结构直写过程中电子束的驻留时间和扫描速率； 数模转换模块，对所述数字控制信号进行数模转换和放大，得到模拟控制信号； 工作台模块，用于承载衬底及待写材料，并根据所述模拟控制信号对所述衬底的空间位置进行调整，根据所述模拟控制信号对所述待写材料的角度进行调整； 电子束模块，用于根据所述模拟控制信号发射电子束并聚焦在所述待写材料的上方，并基于所述驻留时间和所述扫描速率控制所述电子束的焦点按照设定路径进行扫描，对所述待写材料进行直写，得到所述待构筑微纳结构； 所述电子束聚焦在所述待写材料的上方，在所述待写材料的表面上距离电子束的焦点的最近点产生低电势区，所述待写材料脱附的荷电原子和原子团在空间电势限域下向低电势点进行迁移和扩散，并积聚形成微凸起； 所述电子束的焦点与所述待写材料之间形成空间电势限域，所述空间电势限域为所述待写材料的表面的低电势点与所述电子束的焦点之间的漏斗形电势分布；所述漏斗形电势分布对荷电原子和原子团的迁移和扩散进行约束； 束闸模块，基于所述模拟控制信号进行打开和关闭，以控制所述电子束是否聚焦在所述待写材料的上方。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人河南大学，其通讯地址为：475000 河南省郑州市郑东新区明理路北段379号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。