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龙图腾网获悉杭州中为光电技术有限公司申请的专利硅片转运装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115083975B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210608622.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权硅片转运装置是由朱亮;李宏;张鑫;景健;薄晓东设计研发完成，并于2022-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅片转运装置在说明书摘要公布了：本申请涉及硅加工技术领域，尤其涉及一种硅片转运装置，包括：转移机构，具有承接部；第一上料机构，包括至少位于同一直线上的第一接料部和第二接料部；第二接料部获取第二工位上的硅片；在第一交互点处，第一接料部接收承接部上的硅片，承接部将携带的硅片转交给第一接料部后，承接部和或第二接料部平移，使承接部与第二接料部交互并承接硅片；第二上料机构，具有至少一个第三接料部；第二交互点沿第二上料机构的高度方向上的投影与第二工位重合。本申请通过转移机构、第一上料机构和第二上料机构配合，缩短单个机构转运硅片的路径长度、时长及往返的次数，大大提高硅片转运的效率，并缩小机构的运动幅度，降低转运难度，提高硅片的转运精度。

本发明授权硅片转运装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片转运装置，能够在至少第一工位和第二工位之间转运硅片200；其特征在于，所述硅片转运装置包括： 转移机构10，具有用于承接硅片200的承接部11，所述转移机构10用于在至少所述第一工位和所述第二工位之间承接并转移硅片200； 第一上料机构20，包括至少第一接料部21和第二接料部22，所述第一接料部21和所述第二接料部22位于同一直线上；所述第二接料部22用于获取所述第二工位上的硅片200并在第一交互点A1处与所述承接部11交互；在第一交互点A1处，所述第一接料部21接收所述承接部11上的硅片200，所述承接部11将携带的硅片200转交给所述第一接料部21后，所述承接部11和或所述第二接料部22平移，以使所述承接部11与所述第二接料部22交互并承接硅片200； 第二上料机构30，具有至少一个用于承接硅片200的第三接料部33；其中，第二交互点A2沿所述第二上料机构30的高度方向上的投影与所述第二工位重合，所述第三接料部33在所述第二交互点A2承接所述第一接料部21上的硅片200，并携带所得硅片200直线下移至所述第二工位，其中，所述第一上料机构20包括： 第一支座23； 第一吊臂24，所述第一吊臂24的一端设置在所述第一支座23上，且能够相对于所述第一支座23运动，所述第一吊臂24的另一端设有所述第一接料部21和所述第二接料部22； 第一移动组件25，用于驱动所述第一吊臂24相对于所述第一支座23运动，以带动所述第一接料部21和所述第二接料部22承接硅片200。

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