苏州长瑞光电有限公司唐家乐获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州长瑞光电有限公司申请的专利一种氧化限制型垂直腔面发射激光器的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115051240B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210676360.8，技术领域涉及：H01S5/183；该发明授权一种氧化限制型垂直腔面发射激光器的制造方法是由唐家乐;严磊;李加伟设计研发完成，并于2022-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化限制型垂直腔面发射激光器的制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氧化限制型垂直腔面发射激光器的制造方法。本发明制造方法包括：湿法氧化步骤，用于将DBR中的一层或多层高铝层的外圈区域氧化为氧化铝，以在所述一层或多层高铝层的中间区域形成未被氧化的氧化孔；所述制造方法还包括在湿法氧化步骤前的离子注入步骤，用于对所述一层或多层高铝层的外圈区域的部分或全部区域进行离子注入，以降低湿法氧化步骤中的工艺温度。本发明还公开了一种采用上述制造方法得到的氧化限制型垂直腔面发射激光器。相比现有技术，本发明可在满足所要求的湿氧化速率的前提下，大幅降低湿法氧化的工艺温度，进而降低湿法氧化过程中所产生的应力，提高氧化限制型垂直腔面发射激光器的可靠性。
本发明授权一种氧化限制型垂直腔面发射激光器的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化限制型垂直腔面发射激光器的制造方法，包括：湿法氧化步骤，用于将DBR中的一层或多层高铝层的外圈区域氧化为氧化铝，以在所述一层或多层高铝层的中间区域形成未被氧化的氧化孔；其特征在于，所述制造方法还包括在湿法氧化步骤前的离子注入步骤，用于对所述一层或多层高铝层的外圈区域的部分或全部区域进行离子注入，以降低湿法氧化步骤中的工艺温度。
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