湖南大学段曦东获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南大学申请的专利一种不同层数WS2-WSe2横向异质结及其制备和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114975078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210194693.7,技术领域涉及:H01L21/02;该发明授权一种不同层数WS2-WSe2横向异质结及其制备和应用是由段曦东;王娣;张正伟;黄子为;刘苗苗设计研发完成,并于2022-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种不同层数WS2-WSe2横向异质结及其制备和应用在说明书摘要公布了:本发明属于二维材料制备领域,具体涉及不同层数WS2‑WSe2横向异质结的制备方法,将WSe2的粉末在1150~1200℃的温度下热处理;以热处理的WSe2为源物料,以WS2纳米片为基底,采用变气沉积手段,在逆向载气下将源物料加热至挥发温度,随后变换为正向载气,将挥发的源物料在WS2纳米片边缘横向沉积,再将沉积后的产物从沉积温度置于室温中进行骤冷,制得所述的WS2‑WSe2横向异质结;所述的逆向载气的方向指基底至源物料的方向;所述的挥发温度小于热处理温度,且温差为10~25℃;横向沉积的温度为800~950℃。本发明中,通过所述的手段以及参数的联合控制,能够协同诱导WSe2在WS2边缘横向生长,成功制备所述的横向异质结,还能够改善边界以及平滑性,并实现横向异质结纳米片的厚度人为调控。
本发明授权一种不同层数WS2-WSe2横向异质结及其制备和应用在权利要求书中公布了:1.一种不同层数WS2‑WSe2横向异质结的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤a:将WSe2的粉末在1150~1200℃的温度下热处理; 步骤b:以热处理的WSe2为源物料,以WS2纳米片为基底,采用变气沉积手段,在逆向载气下将源物料加热至挥发温度,随后变换为正向载气,将挥发的源物料在WS2纳米片边缘横向沉积,再将沉积后的产物从沉积温度置于室温中进行骤冷,制得所述的WS2‑WSe2横向异质结; 所述的逆向载气的方向指基底至源物料的方向;所述的挥发温度小于热处理温度,且温差为10~25℃; 横向沉积的温度为800~950℃; 热处理在保护气氛围内进行: 热处理的时间为10~30min;横向沉积的WSe2的层数为两层; 热处理的时间为40~90min;横向沉积的WSe2的层数为单层; 所述的室温温度为10~50℃;骤冷过程的气氛为保护性气氛;骤冷过程在逆向气流下进行。
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