细美事有限公司李龙熙获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利支撑装置及包括支撑装置的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110878075.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权支撑装置及包括支撑装置的基板处理装置是由李龙熙;李相旼;林义相;尹堵铉设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本支撑装置及包括支撑装置的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种支撑装置及包括支撑装置的基板处理装置。所述基板处理装置可包括提供能够对基板执行预定的工程的工程空间的工程腔室及与所述工程腔室接触且支撑所述工程腔室的支撑装置。所述支撑装置可包括提供支撑所述工程腔室的构成要素的支撑空间的支撑腔室及向所述支撑空间内供应流体的供应部件，从而能够有效防止所述工程腔室中包括的构成要素被导入所述工程腔室内的所述超临界状态的流体产生的高压变形、受损或皲裂。
本发明授权支撑装置及包括支撑装置的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种用于工程腔室的支撑装置，是用于对基板执行预定的工程的工程腔室的支撑装置，其特征在于，包括： 支撑腔室，与所述工程腔室相邻地配置且提供支撑空间； 第一供应线路，具有用于向所述工程腔室内供应超临界状态的流体的第一分支线路及第二分支线路；及第二供应线路，用于向所述支撑空间内供应所述超临界状态的流体，所述第一分支线路连接于所述工程腔室的上部，所述第二分支线路连接于所述工程腔室的下部，所述第二分支线路通过所述支撑腔室的所述支撑空间并连接于所述工程腔室，所述支撑腔室与所述工程腔室接触，所述支撑空间内的压力大于或等于所述工程腔室内的压力。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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