上海禾赛科技有限公司刘颖彪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海禾赛科技有限公司申请的专利单光子雪崩二极管、形成方法、驱动方法以及激光雷达获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114664965B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011528558.9,技术领域涉及:H10F30/225;该发明授权单光子雪崩二极管、形成方法、驱动方法以及激光雷达是由刘颖彪;弗朗西斯科·潘泽里;向少卿设计研发完成,并于2020-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本单光子雪崩二极管、形成方法、驱动方法以及激光雷达在说明书摘要公布了:本发明实施例提供一种单光子雪崩二极管、形成方法、驱动方法以及激光雷达,在本发明实施例提出的单光子雪崩二极管工作时,通过所述第一接触孔插塞对所述深槽隔离结构施加电压,调制所述PN结的周围区域的电场,从而使得更多的载流子集中于PN结区域,有利于降低PN结边缘区域被击穿的概率。且因为所述深槽隔离结构与所述第一掺杂区相间隔,从而在通过对深槽隔离结构施加电压时,能够有效地对PN结边缘区域的电场进行调制,同时所述PN结的电场强度不易受到深槽隔离结构的电压的影响,有利于提高所述单光子雪崩二极管的电学性能。
本发明授权单光子雪崩二极管、形成方法、驱动方法以及激光雷达在权利要求书中公布了:1.一种单光子雪崩二极管,其特征在于,包括: 衬底和位于所述衬底上的二极管区,所述二极管区包括外延层、位于所述外延层顶部的第一掺杂区; 深槽隔离结构,所述深槽隔离结构与所述二极管区相邻,且与所述第一掺杂区相间隔; 介电层,位于所述深槽隔离结构的顶部; 第一接触孔插塞,贯穿所述介电层,与所述深槽隔离结构的顶部连接; 浅槽隔离结构,环绕所述深槽隔离结构的内侧和外侧,且位于所述外延层顶部与所述第一掺杂区相间隔。
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