TES股份有限公司张琼镐获国家专利权
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龙图腾网获悉TES股份有限公司申请的专利基板处理装置及基板移动方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114649239B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111562634.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及基板移动方法是由张琼镐;卢熙成设计研发完成，并于2021-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板移动方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置及基板移动方法，更具体地提供一种在腔体内将基板随着旋转及台移动而能够最大化抑制基板的处理工艺的不均匀性的基板处理装置及基板移动方法。
本发明授权基板处理装置及基板移动方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置的基板移动方法，该基板处理装置的基板移动方法的基板处理装置包括：多个基板支撑部，设置在腔体内侧而支撑基板，并能够上下移动及旋转；顶升销，在所述基板支撑部使所述基板升降；轴心单元，配置在所述多个基板支撑部之间而将所述基板在所述基板支撑部之间移动，该基板处理装置的基板移动方法特征在于，包括如下步骤： 在所述多个基板支撑部安装所述基板的状态下，将所述基板支撑部以第一方向旋转提前确定的第一角度； 将所述基板从所述基板支撑部分隔；及将所述基板支撑部以与所述第一方向相反的第二方向旋转提前确定的第二角度，其中将所述基板从所述基板支撑部分隔的步骤包括以下步骤： 使所述顶升销上升而将所述基板在所述基板支撑部上升； 将所述轴心单元的装载臂向所述顶升销的下部旋转，使所述轴心单元上升而将所述基板在所述顶升销上升，其中在将所述基板支撑部以所述第二方向旋转的步骤之后还包括将所述基板向相邻的所述基板支撑部移送的步骤，将所述基板向相邻的所述基板支撑部移送的步骤包括如下步骤： 使所述轴心单元发生旋转； 使所述轴心单元下降，而使所述基板安装在所述顶升销；及使所述顶升销下降而将所述基板安装在所述基板支撑部。
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