卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司S.舒伯特获国家专利权
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龙图腾网获悉卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请的专利粒子束系统及其用于灵活设置单独粒子束的电流强度的用途获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114503237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080054165.0，技术领域涉及：H01J37/09；该发明授权粒子束系统及其用于灵活设置单独粒子束的电流强度的用途是由S.舒伯特;D.蔡德勒;G.梅塔利迪斯;H.弗里茨;R.伦克设计研发完成，并于2020-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本粒子束系统及其用于灵活设置单独粒子束的电流强度的用途在说明书摘要公布了：本发明涉及一种粒子束系统，特别是一种多束粒子显微镜，其中可在不改变结构的情况下灵活并在较大数值范围内设定单独粒子束的电流强度。在此，根据本发明的粒子束系统包括聚光透镜系统、具有特定前反电极和前多孔径板的前多透镜阵列以及多透镜阵列。该系统包括控制器，其设置成向聚光透镜系统和前反电极提供可调节的激发，使得带电粒子能够以远心方式入射在前多孔径板上。
本发明授权粒子束系统及其用于灵活设置单独粒子束的电流强度的用途在权利要求书中公布了：1.一种用于灵活设置单独粒子束的电流强度的粒子束系统，具有： 至少一个粒子源，其设置成产生发散的带电粒子束； 聚光透镜系统，该带电粒子束穿过该聚光透镜系统； 前多透镜阵列，其中该前多透镜阵列具有含中心开口的前反电极，该带电粒子束穿过该开口，并且其中该前多透镜阵列具有配置在该前反电极下游的束路径中的前多孔径板，该前多孔径板布置成使得该带电粒子以多种带电单独粒子束形式通过该前多孔径板； 多透镜阵列，其布置在该前多透镜阵列下游的束路径中，其中该多透镜阵列具有含多个开口的多孔径板，该开口由至少一部分带电单独粒子束通过，并且其中该多透镜阵列具有反电极，该反电极具有位于该多孔径板下游的束路径中的中心开口，该反电极基本上由多个单独粒子束穿过；以及控制器，其设置成向该聚光透镜系统和该前反电极提供可调节的激发，使得该带电粒子束能够以会聚或发散的方式进入该前反电极的全局透镜场，并且使得该带电粒子能够以远心方式入射在该前多孔径板上。
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