上海果纳半导体技术有限公司毕迪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利用于传送晶圆的机械手臂和传送装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114300397B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010473640.X,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权用于传送晶圆的机械手臂和传送装置是由毕迪设计研发完成,并于2020-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于传送晶圆的机械手臂和传送装置在说明书摘要公布了:一种用于传送晶圆的机械手臂和传送装置,其中所述机械手臂包括用于放置晶圆的末端,所述末端为圆环状。由于末端呈圆环状,当晶圆放置在末端上时,使得末端与晶圆底部一圈能均匀的接触,增大晶圆的受力面积,使得晶圆的受力较为均匀,防止晶圆破片。
本发明授权用于传送晶圆的机械手臂和传送装置在权利要求书中公布了:1.一种用于传送晶圆的机械手臂,其特征在于,所述机械手臂包括:用于放置晶圆的末端,所述末端为圆环状,所述圆环状的末端包括第一圆弧部分和第二圆弧部分,所述第一圆弧部分和第二圆弧部分均包括第一端和与第一端相对的第二端,所述第一圆弧部分的第一端通过一转动装置与第二圆弧部分的第一端固定连接,所述转动装置用于控制所述第一圆弧部分的第二端与所述第二圆弧部分的第二端闭合或者控制所述第一圆弧部分的第二端相对于所述第二圆弧部分的第二端旋开,以在晶圆支撑结构上取放晶圆时形成缺口,所述缺口的宽度大于所述晶圆支撑结构的宽度,所述机械手臂前后移时,所述晶圆支撑结构可以穿过缺口。
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