朗姆研究公司阿维尼什·古普塔获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利选择性碳沉积获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114270476B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080059201.2，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权选择性碳沉积是由阿维尼什·古普塔;阿德里安·拉沃伊;巴特·J·范施拉芬迪克;萨曼莎·西亚姆华·坦设计研发完成，并于2020-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本选择性碳沉积在说明书摘要公布了：一种在处理室中将碳沉积在衬底上的方法包括：将所述衬底布置在所述处理室中的衬底支撑件上。所述衬底包括形成在所述衬底的至少一个下伏层上的具有第一厚度的碳膜。所述方法还包括实施第一蚀刻步骤以蚀刻所述衬底从而在衬底上形成特征，去除部分所述碳膜并且减小所述碳膜的所述第一厚度；选择性地将碳沉积到所述碳膜的剩余部分上；以及实施至少一个第二蚀刻步骤以蚀刻所述衬底，从而完成在所述衬底上形成所述特征。
本发明授权选择性碳沉积在权利要求书中公布了：1.一种在处理室中将碳沉积在衬底上的方法，该方法包括： 将所述衬底布置在所述处理室中的衬底支撑件上，其中，所述衬底包括形成在所述衬底的至少一个下层上的具有第一厚度的碳膜； 实施第一蚀刻步骤以蚀刻所述衬底，从而在所述衬底上形成特征，其中，实施所述第一蚀刻步骤去除部分所述碳膜并且减小所述碳膜的所述第一厚度； 选择性地将碳仅沉积到所述碳膜的剩余部分上，而不将碳沉积到所述衬底上的所述特征上和所述衬底的所述至少一个下层上；以及实施至少一个第二蚀刻步骤以蚀刻所述衬底，从而完成在所述衬底上形成所述特征。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励