ASML荷兰有限公司保罗·詹森获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利表膜隔膜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114174919B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080055283.3，技术领域涉及：G03F1/62；该发明授权表膜隔膜是由保罗·詹森;M·比龙;I·唐梅兹诺扬;L·费雷琳;A·J·M·吉斯贝斯;J·H·克洛特韦克;J·H·W·昆特泽;A·W·诺藤布姆;安-苏菲·罗利尔;T·W·范德伍德;彼得-詹·范兹沃勒设计研发完成，并于2020-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本表膜隔膜在说明书摘要公布了：描述一种制造表膜隔膜的方法，所述方法包括：在平面基板上设置第一牺牲层以形成叠层；以及向所述叠层的至少一部分提供形成所述表膜隔膜的至少一部分的至少一个金属硅化物或掺杂的金属硅化物表膜芯部层。也描述一种表膜隔膜组件，所述表膜隔膜组件包括基板、第一牺牲层、和形成表膜芯部的至少一部分的至少一个金属硅化物或掺杂的金属硅化物表膜层；以及一种光刻设备，所述光刻设备包括这样的表膜。
本发明授权表膜隔膜在权利要求书中公布了：1.一种制造表膜隔膜的方法，所述方法包括：在平面基板上设置第一牺牲层以形成叠层；以及向所述叠层的至少一部分提供形成所述表膜隔膜的至少一部分的至少一个金属硅化物或掺杂的金属硅化物表膜芯部层；以及在设置所述至少一个表膜芯部层之前在所述第一牺牲层上设置至少一个额外的牺牲层，并且将所述至少一个额外的牺牲层布置成具有在所述至少一个额外的牺牲层中的受控应力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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