东京毅力科创株式会社楠木厚毅获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置以及供电方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114078681B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110884663.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置以及供电方法是由楠木厚毅设计研发完成，并于2021-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置以及供电方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体处理装置,包括:处理腔室；载置台,其配置于处理腔室内；第一电极,其配置于载置台上；第二电极,其与第一电极相对配置；第一高频电源,其与第一电极连接；以及第二高频电源,其与第一电极或第二电极连接,第一高频电源在第一期间中供给第一高频电力的具有高电平和低电平的第一脉冲波或第一高频电力的连续波中的一个波形,在第二期间中供给另一波形,在转变期间中阶段性地或者连续地变更第一脉冲波的低电平,第二高频电源在第一期间中供给第二高频电力的具有高电平和低电平的第二脉冲波或第二高频电力的连续波中的一个波形,在第二期间中供给另一波形,在转变期间中阶段性地或者连续地变更第二脉冲波的低电平。
本发明授权等离子体处理装置以及供电方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置,包括: 处理腔室； 载置台,其配置于上述处理腔室内； 第一电极,其配置于上述载置台上； 第二电极,其与上述第一电极相对配置； 第一高频电源,其与上述第一电极连接；以及第二高频电源,其与上述第一电极或上述第二电极连接,上述第一高频电源以如下方式构成: 在连续的第一期间、第二期间以及上述第一期间与上述第二期间之间的转变期间中的、上述第一期间中供给第一高频电力的具有高电平和低电平的第一脉冲波或者上述第一高频电力的连续波中的一个波形,在上述第二期间中供给上述第一脉冲波以及上述第一高频电力的连续波中的另一波形,在上述转变期间中阶段性地或者连续地变更上述第一脉冲波的低电平,上述第二高频电源以如下方式构成: 在上述第一期间中供给第二高频电力的具有高电平和低电平的第二脉冲波或者上述第二高频电力的连续波中的一个波形,在上述第二期间中供给上述第二脉冲波以及上述第二高频电力的连续波中的另一波形,在上述转变期间中阶段性地或者连续地变更上述第二脉冲波的低电平。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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