株式会社斯库林集团平下友美获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113871320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110723910.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置以及基板处理方法是由平下友美设计研发完成，并于2021-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置，能高精度地控制回收的臭氧水的臭氧浓度。基板处理装置具备：臭氧水生成部，使用臭氧气体生成臭氧水；第一浓度计，测量生成的臭氧水的臭氧浓度；基板处理部；回收部，回收臭氧水并向臭氧水生成部供给；以及控制部，控制臭氧水生成部的动作，回收部具备：温度控制部，控制臭氧水的温度；以及第二浓度计，测量臭氧浓度，控制部基于由第二浓度计测量出的臭氧浓度，控制臭氧水生成部中的臭氧气体的供给量。
本发明授权基板处理装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中，具备： 臭氧水生成部，用于使用臭氧气体生成臭氧水； 第一浓度计，用于测量在所述臭氧水生成部中生成的所述臭氧水的臭氧浓度； 基板处理部，用于向基板供给所述臭氧水来处理所述基板； 回收部，用于回收所述臭氧水并向所述臭氧水生成部供给；以及控制部，用于控制所述臭氧水生成部的动作，所述回收部具备： 温度控制部，用于控制回收的所述臭氧水的温度；以及第二浓度计，用于测量回收的所述臭氧水的臭氧浓度，所述控制部基于在由所述回收部回收所述臭氧水后且向所述臭氧水生成部供给之前由所述第二浓度计测量出的所述臭氧水的所述臭氧浓度，控制所述臭氧水生成部中的所述臭氧气体的供给量，所述臭氧水生成部具备： 第一路径，设置有用于向所述臭氧水供给所述臭氧气体的臭氧溶解部；以及第二路径，从所述第一路径分支，并且，没有设置所述臭氧溶解部，在由所述第二浓度计测量出的所述臭氧水的所述臭氧浓度是阈值以上的情况下，所述控制部在所述臭氧水生成部中经由所述第二路径生成所述臭氧水，在所述臭氧浓度小于阈值的情况下，所述控制部在所述臭氧水生成部中经由所述第一路径生成所述臭氧水。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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