邢台晶龙新能源有限责任公司赵贝获国家专利权
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龙图腾网获悉邢台晶龙新能源有限责任公司申请的专利单晶炉停炉预防热场损坏方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111826707B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010731096.4,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权单晶炉停炉预防热场损坏方法是由赵贝;李增卫;赵群设计研发完成,并于2020-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶炉停炉预防热场损坏方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种单晶炉停炉预防热场损坏方法,方法包括步骤1,石英坩埚内有剩料熔融硅液时,拉制晶体,晶体的第一长度进入水冷热屏;步骤2,晶体拉制到第二长度后,停止拉制晶体,且晶体的一端与熔融硅液液面接触;步骤3,在晶体静止后,单晶炉底部的副加热器加热功率下降为零;步骤4,单晶炉四周的主加热器分三个阶段降低功率,直至主加热器加热功率下降为零;步骤5,冷却一定时间后拆单晶炉。根据本发明实施例的方法,能够拉制一定长度单晶增大迁热体积,加快石英坩埚中部熔融硅液凝结速度,降低了应力集中度,单晶炉上加热器阶梯式停止加热,减缓石英坩埚四周硅凝结速度,让出应力释放区,从而最大限度的保证热场的完整性。
本发明授权单晶炉停炉预防热场损坏方法在权利要求书中公布了:1.一种单晶炉非常规停炉预防热场损坏方法,其特征在于,所述单晶炉包括:用于盛装熔融硅液的石英坩埚,设置在所述石英坩埚上方的水冷热屏,设置在所述单晶炉底部的副加热器,以及设置在所述石英坩埚四周且位于所述水冷热屏下方的主加热器,所述方法包括: 步骤1,在所述石英坩埚内有剩料熔融硅液时,拉制晶体,所述晶体的第一长度进入所述水冷热屏; 步骤2,所述晶体拉制到第二长度后,停止拉制所述晶体,使得所述晶体静止,且所述晶体的一端与熔融硅液液面接触,所述第一长度小于第二长度; 步骤3,在所述晶体静止后,所述单晶炉底部的副加热器加热功率下降为零; 步骤4,所述单晶炉四周的主加热器分三个阶段降低功率,直至所述主加热器加热功率下降为零; 步骤5,冷却一定时间后拆单晶炉。
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