株式会社迪思科姚龙才获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利检查用工作台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111524828B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010078518.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权检查用工作台是由姚龙才;李志伟设计研发完成，并于2020-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查用工作台在说明书摘要公布了：提供检查用工作台，不需要劳力和技能就确认装置的状态。在加工装置的检查中使用的检查用工作台具有：基座部，其以能够装卸的方式支承于卡盘工作台的保持面或工作台基台；传感器，其固定于基座部，由电力进行驱动；信息发送部，其发送传感器所检测出的信息；以及电池，其向传感器和信息发送部提供电力。传感器是压力检测传感器、倾斜检测传感器、温度检测传感器、光量传感器或图像传感器。检查用工作台使用传感器来检测或记录与卡盘工作台、加工单元、工作台基台或移动单元相关联的压力、倾斜度、温度、光量或所拍摄的外观。
本发明授权检查用工作台在权利要求书中公布了：1.一种检查用工作台，其在加工装置中使用，该加工装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；加工单元，其与该保持面相对，对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；工作台基台，其将该卡盘工作台支承为装卸自如；移动单元，其使该工作台基台移动；以及照相机单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，其中， 该检查用工作台包含： 基座部，其以能够装卸的方式支承于该卡盘工作台的该保持面或该工作台基台； 传感器，其固定于该基座部，由电力进行驱动； 信息发送部，其发送该传感器所检测出的信息；以及 电池，其向该传感器和该信息发送部提供电力， 该传感器至少具有光量传感器和图像传感器，该光量传感器能够检测该照相机单元的光量， 该图像传感器取得该检查用工作台的上方的图像， 该信息发送部发送至少由该光量传感器和该图像传感器检测到的信息。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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