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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利多级、多区域衬底定位系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113939902B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080040851.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权多级、多区域衬底定位系统是由Y·于齐耶尔;U·铂尔曼;F·拉斯克;N·古特曼;A·希尔德斯海姆;A·巴朗设计研发完成，并于2020-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本多级、多区域衬底定位系统在说明书摘要公布了：一种第一x‑y平移载物台、一种第二x‑y平移载物台及一种卡盘安置于腔室中。所述卡盘位于所述第二x‑y平移载物台上方且耦合到所述第二x‑y平移载物台，所述第二x‑y平移载物台位于所述第一x‑y平移载物台上方且耦合到所述第一x‑y平移载物台。所述卡盘经配置以支撑衬底且通过所述第一x‑y载物台及所述第二x‑y载物台在x方向及y方向上平移，所述x方向及所述y方向基本上平行于所述卡盘的其上将安装所述衬底的表面。第一屏障及第二屏障也安置于所述腔室中。所述第一屏障耦合到所述第一x‑y平移载物台以使所述腔室的第一区域与所述腔室的第二区域分离。所述第二屏障耦合到所述第二x‑y平移载物台以使所述腔室的所述第一区域与所述腔室的第三区域分离。

本发明授权多级、多区域衬底定位系统在权利要求书中公布了：1.一种系统，其在腔室中包括： 在x方向及y方向上移动的第一x-y平移载物台； 第二x-y平移载物台，其位于所述第一x-y平移载物台上方且耦合到所述第一x-y平移载物台，所述第二x-y平移载物台在所述第一x-y平移载物台静止时在所述x方向及所述y方向上移动； 卡盘，其位于所述第二x-y平移载物台上方且耦合到所述第二x-y平移载物台，以支撑衬底且通过所述第一x-y载物台及所述第二x-y载物台在所述x方向及y方向上平移，其中所述x方向及所述y方向平行于所述卡盘的表面，所述衬底将安装在所述卡盘的所述表面上； 第一屏障，其耦合到所述第一x-y平移载物台，以使所述腔室的第一区域与所述腔室的第二区域分离，其中所述第一区域包含所述卡盘上方及旁边的空间且所述第二区域包含所述第一x-y平移载物台旁边的空间；及 第二屏障，其耦合到所述第二x-y平移载物台，以使所述腔室的所述第一区域与所述腔室的第三区域分离，其中所述第三区域包含所述第二x-y平移载物台旁边的空间。

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