株式会社斯库林集团田中孝佳获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置、以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823413B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111588425.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置、以及基板处理方法是由田中孝佳设计研发完成，并于2021-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、以及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置、以及基板处理方法。基板处理装置具备：利用蚀刻液对基板进行蚀刻的蚀刻处理部；从所述蚀刻处理部排出蚀刻液的排出流路；以及设于所述排出流路的固体二氧化硅单元。所述固体二氧化硅单元包括：多个固体二氧化硅；以及二氧化硅收容部，其收容多个所述固体二氧化硅，且使蚀刻液通过内部。
本发明授权基板处理装置、以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 利用蚀刻液对基板进行蚀刻的蚀刻处理部； 从所述蚀刻处理部排出蚀刻液的排出流路；以及 设于所述排出流路的固体二氧化硅单元， 所述固体二氧化硅单元包括： 多个固体二氧化硅； 二氧化硅收容部，其收容多个所述固体二氧化硅，且使蚀刻液通过内部；以及 还具备对多个所述固体二氧化硅进行冷却的冷却单元， 所述冷却单元以使所述固体二氧化硅的温度变得比流入至所述二氧化硅收容部的蚀刻液的温度低的方式对所述固体二氧化硅进行冷却。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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