买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华虹半导体(无锡)有限公司申请的专利晶片浸泡式清洗装置和补液方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496857B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210104717.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶片浸泡式清洗装置和补液方法是由奚达;郭志田;瞿治军;王泽飞;夏金伟设计研发完成，并于2022-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶片浸泡式清洗装置和补液方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体器件制造技术领域，具体涉及一种晶片浸泡式清洗装置和补液方法。其中装置包括：浸泡内槽、补液外槽和补液装置。方法包括：控制向补液外槽中输入清洗液，使得位于补液外槽中的清洗液的液面高度逐渐上升；当获取第一液面传感器发送的第一触发信号后，首次获得第二液面传感器发送的第二触发信号时；使得补液装置启动；当第二次获取第二液面传感器发送的第二触发信号时，确定浸泡内槽补液完全，且浸泡内槽充满后的清洗液溢流，使得补液外槽中的清洗液的液面上升至第二高度；当获取第三液面传感器发送的第三触发信号时，使得补液装置停止，使得排液阀打开；获得第二液面传感器发送的跃变信号，使得排液阀关闭，使得补液装置启动。

本发明授权晶片浸泡式清洗装置和补液方法在权利要求书中公布了：1.一种晶片浸泡式清洗装置补液方法，其特征在于，包括： 提供一晶片浸泡清洗装置，所述晶片浸泡清洗装置包括浸泡内槽、补液外槽和补液装置； 所述补液外槽紧密贴合在所述浸泡内槽的上部外周，所述浸泡内槽的上端与所述补液外槽连通，从所述浸泡内槽上端溢流出的清洗液能够流入所述补液外槽中； 沿着所述补液外槽的高度方向，由下至上依次设有第一液面传感器、第二液面传感器和第三液面传感器； 所述补液外槽上还设有用于排出清洗液的排液阀； 第一步：控制向所述补液外槽中输入清洗液，使得位于所述补液外槽中的清洗液的液面高度逐渐上升； 第二步：当获取所述第一液面传感器发送的第一触发信号后，首次获得第二液面传感器发送的第二触发信号时，确定所述补液外槽中的清洗液的液面上升至第二高度； 第三步：使得所述补液装置启动，所述补液外槽中的清洗液输送至所述浸泡内槽中，使得所述补液外槽中的清洗液的液面由所述第二高度开始下降； 第四步：当第二次获取所述第二液面传感器发送的第二触发信号时，确定所述浸泡内槽补液完全，且所述浸泡内槽充满后的清洗液溢流，使得所述补液外槽中的清洗液的液面上升至第二高度； 第五步：当获取所述第三液面传感器发送的第三触发信号时，确定所述补液外槽中的清洗液的液面上升至第三高度，使得所述补液装置停止，使得所述排液阀打开； 第六步：获得所述第二液面传感器发送的跃变信号，确定打开所述排液阀使得所述补液外槽中的清洗液的液面下降至第二高度，使得所述排液阀关闭，使得所述补液装置启动；其中，所述跃变信号为该第二液面传感器停止发送第二触发信号的阶跃瞬间信号； 依次循环第五步和第六步。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华虹半导体(无锡)有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。