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环球晶圆股份有限公司王上棋获国家专利权

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龙图腾网获悉环球晶圆股份有限公司申请的专利晶锭评估方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115541586B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210408237.8,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权晶锭评估方法是由王上棋;李佳融;陈苗霈;蔡佳琪;李依晴设计研发完成,并于2022-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。

晶锭评估方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶锭评估方法,包括下述步骤。分别基于多个晶锭各自的第一端的第一晶片与第二端的第二晶片的缺陷信息来获得多个统计参数。测量各晶锭的第一端的第一弯曲度与其第二端的第二弯曲度,借此将晶锭标记至对应的多个种类中的其中一个。基于所述晶锭的统计参数与其所标记的类别来建立分类模型。

本发明授权晶锭评估方法在权利要求书中公布了:1.一种晶锭评估方法,其特征在于,包括: 分别基于多个晶锭各自的第一端的第一晶片与第二端的第二晶片的缺陷信息来获得多个统计参数; 测量每一所述晶锭的所述第一端的第一弯曲度与其所述第二端的第二弯曲度,借此将所述晶锭标记至对应的多个类别中的其中一个;以及 基于所述晶锭的所述统计参数与其所标记的类别来建立分类模型, 其中分别基于所述晶锭各自的所述第一端的所述第一晶片与所述第二端的所述第二晶片的缺陷信息来获得所述统计参数的步骤包括: 在指定方向上,将所述第一晶片与所述第二晶片各自至少划分为两个区域; 基于所述第一晶片的所述缺陷信息,计算对应于所述第一晶片所划分的两个区域的第一缺陷比例以及第二缺陷比例; 基于所述第二晶片的所述缺陷信息,计算对应于所述第二晶片所划分的两个区域的第三缺陷比例以及第四缺陷比例; 基于所述第一缺陷比例与所述第二缺陷比例,计算第一差值; 基于所述第三缺陷比例与所述第四缺陷比例,计算第二差值; 基于所述第一差值与所述第二差值,计算第三差值;以及 将所述第一差值、所述第二差值以及所述第三差值作为所述统计参数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人环球晶圆股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新竹市科学工业园区工业东二路8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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