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龙图腾网获悉阿自倍尔株式会社申请的专利隔膜真空计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115356037B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210527878.5，技术领域涉及：G01L21/00；该发明授权隔膜真空计是由吉川康秀;小原圭辅;市原純;佐藤公洋设计研发完成，并于2022-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本隔膜真空计在说明书摘要公布了：本发明提供一种隔膜真空计，不受电缆的寄生电容和杂散电容的影响地测量传感器芯片的电极间的静电电容。隔膜真空计具备：传感器芯片1，其具有形成在基座上的第一电极、和在与基座隔开间隙配置的隔膜上以与第一电极相对的方式形成的第二电极，第一、第二电极的间隔根据由被测定介质的压力引起的膜片的位移而变化；运算放大器A1，其将从第一电极输出的电流转换为电压并放大；以及同轴电缆21，其连接第一电极和运算放大器A1。第一电极通过同轴电缆21的芯线22与运算放大器A1的虚拟接地连接。

本发明授权隔膜真空计在权利要求书中公布了：1.一种隔膜真空计，其特征在于，具备： 传感器芯片，其具有形成在基座上的第一电极、在与所述基座隔开间隙配置的膜片上以与所述第一电极相对的方式形成的第二电极、形成在所述第一电极的外侧的所述基座上的第三电极、以及在所述第二电极的外侧的所述膜片上以与所述第三电极相对的方式形成的第四电极，所述第一电极、所述第二电极的间隔根据由被测定介质的压力引起的所述膜片的位移而改变； 第一运算放大器，其将从所述第一电极输出的电流转换为电压并进行放大； 第二运算放大器，其将从所述第三电极输出的电流转换为电压并进行放大； 第三运算放大器，其对所述第二电极、所述第四电极施加传感器驱动信号； 减法器，其从所述第一运算放大器的输出信号中减去所述第二运算放大器的输出信号； 电容计算部，其根据所述第一运算放大器的输出信号计算所述第一电极、所述第二电极间的第一静电电容的值； 电容差计算部，其根据所述减法器的输出信号，计算从所述第一静电电容减去所述第三电极、所述第四电极间的第二静电电容所得的值； 电容校正部，其基于所述电容计算部的计算结果和所述电容差计算部的计算结果，利用所述第二静电电容校正所述第一静电电容； 压力测量部，其将校正后的所述第一静电电容转换为压力测量值； 电缆，其连接所述第三运算放大器的输出端子和所述第二电极、所述第四电极； 第一同轴电缆，其连接所述第一电极和所述第一运算放大器；以及 第二同轴电缆，其连接所述第三电极和所述第二运算放大器， 所述第一电极通过所述第一同轴电缆的芯线与所述第一运算放大器的虚拟接地连接，所述第三电极通过所述第二同轴电缆的芯线与所述第二运算放大器的虚拟接地连接， 所述第一同轴电缆的屏蔽线和所述第二同轴电缆的屏蔽线与包含所述第一运算放大器和所述第二运算放大器的电路部的接地连接。

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