科磊股份有限公司姜辛容获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利产生多个电子束的系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117396995B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280037976.9，技术领域涉及：H01J37/09；该发明授权产生多个电子束的系统及方法是由姜辛容;S·K·施瑞延;L·葛瑞拉;K·凯明斯;C·西尔斯设计研发完成，并于2022-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本产生多个电子束的系统及方法在说明书摘要公布了：一种电子束装置包含上柱电子光学器件及下柱电子光学器件。所述上柱电子光学器件包含孔隙阵列以将电子束划分成多个电子子束。所述上柱电子光学器件还包含具有多个透镜的透镜阵列以调整所述多个电子子束的焦点。所述多个透镜的相应透镜用以调整所述多个电子子束的相应电子子束的所述焦点。所述上柱电子光学器件进一步包含第一全局透镜以依与所述透镜阵列相反的方式调整所述多个电子子束的所述焦点。
本发明授权产生多个电子束的系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种电子束装置，其包括上柱电子光学器件及下柱电子光学器件，所述上柱电子光学器件包括： 孔隙阵列，其将电子束划分成多个电子子束； 透镜阵列，其包括多个透镜以调整所述多个电子子束的焦点，以使所述多个电子子束散焦，其中所述多个透镜的相应透镜用以调整所述多个电子子束的相应电子子束的所述焦点；及 第一全局透镜，其以与所述透镜阵列相反的方式调整所述多个电子子束的所述焦点，以使由所述透镜阵列散焦的所述多个电子子束聚焦； 其中所述透镜阵列安置于所述孔隙阵列与所述第一全局透镜之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人科磊股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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