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龙图腾网获悉扬州晶樱光电科技有限公司申请的专利一种单晶硅预处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115547917B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211197944.3，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种单晶硅预处理装置是由杨定勇;张力峰;邹文龙设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单晶硅预处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及工业技术领域，具体为一种单晶硅预处理装置，包括平面板，平面板的一侧固定安装支撑板；支撑板的顶部固定安装喷淋板；喷淋板的顶部固定安装水仓，水仓上设置进水管；平面板上固定安装第一电机；第一电机的转轴端部固定安装第二电机；第二电机的转轴端部固定安装第三电机；第三电机的转轴端部固定安装承接面板，承接面板为连续弯折结构，承接面板包括第一竖板、第二横板和第三竖板，第三竖板位于最底部；承接面板上安装防护机构。本发明承接入料、清洗硅片和输出硅片，在衔接原输送带送料的基础上，完成预处理的硅片冲洗，从而实现硅片的高效冲洗，低成本冲洗，同时大大缩短了转移的行程距和成本。

本发明授权一种单晶硅预处理装置在权利要求书中公布了：1.一种单晶硅预处理装置，其特征在于，包括： 平面板（1），所述平面板（1）的一侧固定安装支撑板（2）； 喷淋板（3），所述支撑板（2）的顶部固定安装喷淋板（3）； 水仓（4），所述喷淋板（3）的顶部固定安装水仓（4），所述水仓（4）上设置进水管； 第一电机（5），所述平面板（1）上固定安装第一电机（5）； 第二电机（6），所述第一电机（5）的转轴端部固定安装第二电机（6）； 第三电机（7），所述第二电机（6）的转轴端部固定安装第三电机（7）； 承接面板（8），所述第三电机（7）的转轴端部固定安装承接面板（8），承接面板（8）为连续弯折结构，承接面板（8）包括第一竖板、第二横板和第三竖板，第三竖板位于最底部； 防护机构（9），所述承接面板（8）上安装防护机构（9）；所述承接面板（8）设有滑槽（801）、限位块（802）、通槽（803）、推块（804）和气缸（805），所述承接面板（8）的第三竖板侧面开设滑槽（801），所述第三竖板位于滑槽（801）的中部位置固定安装限位块（802），所述第二横板上开设通槽（803），通槽（803）处契合安装推块（804），所述第二横板的底部固定安装气缸（805），所述气缸（805）的内杆与推块（804）固定连接；所述防护机构（9）包括第四电机（901）、第一螺杆（902）、第二螺杆（903）、滑块（904）和防护杆（905），所述第三竖板的一端固定安装第四电机（901），所述滑槽（801）内设置第一螺杆（902）和第二螺杆（903），所述第一螺杆（902）和第二螺杆（903）的螺纹反向设置，所述第一螺杆（902）和第二螺杆（903）的端部固定连接，所述第一螺杆（902）与第四电机（901）的转轴固定连接，所述第一螺杆（902）和第二螺杆（903）上均螺纹套设安装滑块（904），所述滑块（904）与滑槽（801）滑动连接，所述滑块（904）上一体连接防护杆（905）。

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