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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利具有冷却功能的负载锁定装置及晶圆冷却控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115440630B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211198981.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权具有冷却功能的负载锁定装置及晶圆冷却控制方法是由王磊;牛沛泽;李慧设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有冷却功能的负载锁定装置及晶圆冷却控制方法在说明书摘要公布了：具有冷却功能的负载锁定装置及晶圆冷却控制方法。该负载锁定装置包括负载锁定腔、进气装置、排气装置、压力保护装置以及温度检测装置。当所述负载锁定腔的内部气压低于大气压力，所述进气装置被开启以回填进气，当所述负载锁定腔的内部气压回填至与大气压力相同后，所述排气装置被开启以将多余气体从所述负载锁定腔排出，当所述温度检测装置检测到晶圆温度满足一设定温度或者所述排气装置的排气时间满足一预设时间，则所述排气装置及所述进气装置被关闭；当所述负载锁定腔的内部气压高于一设定值后，所述压力保护装置被自动开启，以将所述负载锁定腔的内部气压控制在所述设定值内。

本发明授权具有冷却功能的负载锁定装置及晶圆冷却控制方法在权利要求书中公布了：1.一种具有冷却功能的负载锁定装置，其特征在于，所述负载锁定装置包括： 负载锁定腔，具有顶部和底部； 进气装置、排气装置以及压力保护装置，设置于所述顶部且与所述负载锁定腔的内部流体连通； 温度检测装置，设置于所述底部； 其中，当所述负载锁定腔的内部气压低于大气压力，所述进气装置被开启以回填进气，当所述负载锁定腔的内部气压回填至与大气压力相同后，所述排气装置被开启以将多余气体从所述负载锁定腔排出，当所述温度检测装置检测到晶圆温度满足一设定温度或者所述排气装置的排气时间满足一预设时间，则所述排气装置及所述进气装置被关闭；当所述负载锁定腔的内部气压高于一设定值后，所述压力保护装置被自动开启，以将所述负载锁定腔的内部气压控制在所述设定值内； 其中，所述压力保护装置包括泄压支撑基座、套接于所述泄压支撑基座外部的压力弹簧、套接于所述压力弹簧外部的密封罩、设置于所述压力弹簧下方的弹簧限位，以及设置于所述弹簧限位下方的防脱落环，所述防脱落环接触连接所述弹簧限位和所述负载锁定腔室； 当所述负载锁定腔的内部气压高于所述设定值后，所述弹簧限位被所述负载锁定腔室内的压力向上顶，增大了位于其上方的所述压力弹簧的弹性形变，致使所述压力弹簧向上方弹性释放，以顶开所述泄压支撑基座与所述密封罩之间的密封接触。

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