细美事有限公司梁映轘获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利能够更换消耗品的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116072496B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211241499.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权能够更换消耗品的基板处理装置是由梁映轘;卢收练;姜廷锡设计研发完成，并于2022-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本能够更换消耗品的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种能够更换消耗品的基板处理装置，是一种维持基板处理装置的腔室工艺环境的同时，能够更换喷头、聚焦环等消耗品的支持方案。根据本发明的能够更换消耗品的基板处理装置包括：工艺腔室，设有执行基板处理工艺的处理空间；升降部件，配置在所述工艺腔室中并在所述处理空间内支承消耗品的同时使所述消耗品升降；门单元，设置在所述工艺腔室的一侧壁面，并随着开闭选择性地提供连接到所述处理空间的通道；以及运输单元，通过所述门单元的通道运输消耗品。
本发明授权能够更换消耗品的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种能够更换消耗品的基板处理装置，其特征在于，包括： 工艺腔室，设有执行基板处理工艺的处理空间； 喷头，包括层叠配置且设有与紧固部件相对应的紧固部的固定板和更换板； 装卸单元，在所述工艺腔室内安装以及分离所述喷头，并且包括：所述紧固部件，设有紧固于所述喷头的螺纹；紧固驱动部，与所述紧固部件的末端连接，并使所述紧固部件旋转；扭矩测定仪，测定所述喷头的结合强度；以及装卸单元控制部，基于测定的结合强度控制所述紧固驱动部而紧固所述喷头，从而所述装卸单元在所述固定板安装以及分离所述更换板； 升降部件，配置在所述工艺腔室中并在所述处理空间内支承消耗品即喷头的更换板的同时使所述消耗品升降； 门单元，设置在所述工艺腔室的一侧壁面，并随着开闭选择性地提供连接到所述处理空间的通道； 运输单元，通过所述门单元的通道运输消耗品；以及 缓冲腔室，与所述门单元的通道连接而在所述通道开放时维持所述工艺腔室的处理工艺环境。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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