深圳后浪实验室科技有限公司吴忠振获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳后浪实验室科技有限公司申请的专利一种新型阳极层离子源获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115763198B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211398189.5,技术领域涉及:H01J37/08;该发明授权一种新型阳极层离子源是由吴忠振;崔岁寒;黄健;马正永;马梓淇设计研发完成,并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型阳极层离子源在说明书摘要公布了:本发明公开了一种新型阳极层离子源,所述阳极层离子源通过在内阴极和外阴极表面设置外屏蔽罩,防止离子通道的正离子轰击阴极表面,减少了因溅射产生的金属原子,有效抑制阴极刻蚀,防止样品被污染,同时通过在离子源内部内阴极和外阴极内轮廓周围设置磁屏蔽罩,屏蔽阳极附近的磁场,优化电磁场分布,减少了内部放电,提高工艺的稳定性,从而提高阳极层离子源的工作寿命。
本发明授权一种新型阳极层离子源在权利要求书中公布了:1.一种新型阳极层离子源,其特征在于,其包括: 导磁底板; 导磁支撑柱,设置于所述导磁底板一侧; 内阴极,与所述导磁支撑柱背离所述导磁底板一侧连接; 外阴极,所述内阴极与所述外阴极之间为离子流通道,离子束流产生于所述离子流通道; 磁铁架,设置于所述导磁底板和所述外阴极之间; 永磁铁,设置于所述磁铁架的内部; 外屏蔽罩,设置于所述内阴极及所述外阴极朝向离子流通道外表面上方,用于防止正离子轰击所述内阴极和所述外阴极的阴极表面; 阳极,通过绝缘紧固件与所述导磁底板连接,所述阳极位于所述内阴极、所述外阴极、所述磁铁架以及所述导磁底板围成的空间内,所述内阴极、所述外阴极、所述磁铁架以及所述导磁底板均与所述阳极绝缘; 磁屏蔽罩,通过所述绝缘紧固件与所述导磁底板连接,所述磁屏蔽罩围绕所述阳极设置,与所述内阴极、所述外阴极以及所述阳极绝缘,所述磁屏蔽罩用于屏蔽所述阳极周围的磁场。
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