浙江大学郑旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利基于参量激励的MEMS陀螺驱动力偏转角的辨识以及抑制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115876221B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211504894.9,技术领域涉及:G01C25/00;该发明授权基于参量激励的MEMS陀螺驱动力偏转角的辨识以及抑制方法是由郑旭东;王雪同;金仲和设计研发完成,并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于参量激励的MEMS陀螺驱动力偏转角的辨识以及抑制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于参量激励的MEMS陀螺驱动力偏转角的辨识以及抑制方法,属于微机械陀螺仪领域。本发明根据参量激励能够等效改变模态阻尼的特性,通过施加不同的参量激励电压,得到陀螺仪的零偏与等效阻尼之间的近似线性关系,经过拟合与计算即可辨识出驱动力偏转角。本发明利用闭环参量激励,将模态等效阻尼控制在恒定值,此时陀螺仪的零偏的表达式中受到驱动力偏转角影响的项可以看作恒定值,从而抑制了因驱动力偏转角存在而对零偏产生的影响,提高了陀螺仪的温度稳定性以及零偏稳定性。
本发明授权基于参量激励的MEMS陀螺驱动力偏转角的辨识以及抑制方法在权利要求书中公布了:1.一种基于参量激励的幅度调制MEMS陀螺驱动力偏转角的辨识方法,其特征在于包括如下步骤: 1MEMS陀螺的X模态被X模态驱动力生成模块产生的静电力主动驱动,产生振动位移; 2MEMS陀螺的X模态的振动位移信号被转换为电压信号,然后通过X模态幅度-相位提取模块提取得到振动相位信息和振动幅度信息,振动相位与预先设定的参考振动相位之间的差值经过PI控制器得到X模态锁相环模块的频率输出修正量,该频率输出修正量与设置的X模态初始驱动力频率相加作为X模态锁相环模块的频率输出,即作为产生X模态驱动力的频率;振动幅度与预先设定的参考振动幅度之间的差值经过PI控制器得到X模态自动增益控制模块的幅度输出修正量,该幅度输出修正量与设置的X模态初始驱动力幅度相加作为X模态自动增益控制模块的幅度输出,即作为产生X模态驱动力的幅度; 3X模态驱动力生成模块根据X模态锁相环模块的频率输出和自动增益控制模块的幅度输出,产生相应频率和幅度的驱动力; 4X模态锁相环闭环时,X模态锁相环模块最终的频率输出等于X模态的谐振频率,此时X模态处于谐振状态;X模态自动增益控制闭环时,X模态振动幅度等于参考振动幅度;此时,陀螺仪将外界输入角速度转化为科氏力,引起Y模态的振动;此时陀螺仪处于基于幅度调制的工作状态; 5对于基于幅度调制的微机械陀螺仪,Y模态的振动位移信号被转换为电压信号,然后其幅度经过信号处理表征外界输入角速度;由于驱动力偏转角的存在,角速度输出受到影响; 按照X模态锁相环模块的频率输出和预先设定的X模态参量激励幅度,通过X模态参量激励信号产生模块生成X模态参量激励信号作用于X模态的调谐电极从而改变X模态的等效刚度,即对X模态施加了刚度扰动信号,令X模态处于参量激励下的谐振状态,并且刚度扰动信号的幅度、频率均与参量激励信号相关; 6在外界实际输入角速度为零时,对X模态施加不同大小的刚度扰动信号,等效改变了X模态的阻尼;X模态等效阻尼变化时,陀螺仪输出的角速度零偏不同,得到零偏与等效阻尼之间的关系后,进行线性拟合,经过计算得到驱动力偏转角。
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