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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利一种集成型仿生复眼模板结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116381830B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310389333.7，技术领域涉及：G02B3/00；该发明授权一种集成型仿生复眼模板结构及其制备方法是由刘学青;祁金勇;陈岐岱;孙洪波设计研发完成，并于2023-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种集成型仿生复眼模板结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种集成型仿生复眼模板结构及其制备方法，属于激光微纳加工技术领域，利用飞秒激光提前在平面样品内部进行周期性均匀改性布点，再结合离子束一步成型的刻蚀过程，便可以非常简便的制备集成型仿生复眼模板结构。该方法采用飞秒激光预先改性布点只需要将飞秒激光聚焦到平面样品的内部，不需要知道后续离子束刻蚀的预期面型分布，再利用会聚的离子束入射在布点的区域，在刻蚀出毫米尺度透镜的同时，透镜的三维曲面上会有预先改性的区域，微米尺度的透镜也会被同步刻蚀出来。总之，本发明利用飞秒激光预先改性布点和后续的离子束一步成型刻蚀过程可以非常简便的制备集成型仿生复眼模板结构，并且有利于后续的大批量转写制备复眼结构。

本发明授权一种集成型仿生复眼模板结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种集成型仿生复眼结构的制备方法，其特征在于，具体包括步骤如下： 步骤一：待加工样品处理； 依次采用蘸有丙酮溶液和乙醇溶液的棉球对待加工衬底进行擦拭，再经过去离子水冲洗和低温烘箱烘干，目的是清除衬底表面残留的污染物，然后将衬底取出备用，样品准备完成； 步骤二：利用飞秒激光预先在平面样品内部进行周期性改性布点； 首先，将准备好的样品固定在二维移动平台上，将经过激光振镜和场镜聚焦的飞秒激光聚焦到样品的内部，用加工软件读取提前写好的点阵加工文件，利用激光振镜偏转和场镜聚焦飞秒激光在样品内部制备不同深度且周期性排列的点阵改性区域，此时没有材料的去除，只有材料的改性； 步骤三：利用离子束刻蚀一步成型制备集成型仿生复眼模板结构； 首先，将经过步骤二改性后的样品固定在样品托上，抽真空排除空气影响，采用两束离子束以一定角度斜入射进行刻蚀，两束离子束会聚在样品的同一区域，刻蚀的同时样品托以一定速度匀速旋转；由于激光改性区域刻蚀速率和未改性区域刻蚀速率的差异，在刻蚀出复眼模板结构的三维凹透镜曲面的同时，在该曲面上的改性区域也会被刻蚀成多个微透镜，从而制备出仿生复眼模板结构； 步骤三中的离子束由电离氩气产生，仪器的工作电压为6kV，刻蚀时间为5小时，离子束的入射角度为10°，离子束的聚焦程度为50%，固定样品的样品托的旋转方式为360°匀速旋转，或特定角度范围来回摇摆旋转，旋转速度为3转每分钟； 步骤三中采用两束离子束呈对称角度进行斜入射； 步骤一所述的待加工衬底包括熔融石英、蓝宝石或金刚石的透明硬质光学材料；衬底的大小为3mm-20mm，厚度为100μm-1mm，低温烘箱温度设置为50℃-100℃。

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