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龙图腾网获悉宁波恒普技术股份有限公司申请的专利一种立式成膜装置基板转运设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116978839B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310423202.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种立式成膜装置基板转运设备是由刘鹏;徐文立;唐凯凯;高炀;沈磊设计研发完成，并于2023-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种立式成膜装置基板转运设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种立式成膜装置基板转运设备，涉及半导体材料生产设备技术领域，主要结构包括运转室和晶片进出室；运转室的一侧与立式成膜装置的反应室的一侧之间设置有第一阀门；运转室的另一侧与晶片进出室的一侧之间设置有第二阀门；晶片进出室的另一侧设置有第三阀门；运转室内设置有第一搬运机构，第一搬运机构用于反应室和晶片进出室之间的物品搬运；晶片进出室的另一侧外部设置有第二搬运机构，第二搬运机构用于向晶片进出室搬运或取出物品。可在短时间内完成反应室内基板装载更换动作，快速恢复成膜工艺。缩短成膜工艺中冷却段的时间占比，提高生产效率。具备实时监控功能，观察记录运转过程以便即时排除问题。

本发明授权一种立式成膜装置基板转运设备在权利要求书中公布了：1.一种立式成膜装置基板转运设备，其特征在于，包括运转室和晶片进出室；所述运转室的一侧与立式成膜装置的反应室的一侧之间设置有第一阀门；所述运转室的另一侧与所述晶片进出室的一侧之间设置有第二阀门；所述晶片进出室的另一侧设置有第三阀门；所述运转室内设置有第一搬运机构，所述第一搬运机构用于所述反应室和所述晶片进出室之间的物品搬运；所述晶片进出室的另一侧外部设置有第二搬运机构，所述第二搬运机构用于向所述晶片进出室搬运或取出物品； 还包括暂存室；所述暂存室的一侧与所述运转室之间设置有第四阀门；所述第一搬运机构用于所述反应室、所述晶片进出室和所述暂存室之间的物品搬运；所述暂存室用于将所述暂存室内的晶片冷却至常温； 所述暂存室内设置有晶片提升机构，所述晶片提升机构顶部设置有升降台，所述暂存室内位于所述晶片提升机构周围设置有基板支撑块，所述基板支撑块顶部设置有基板和晶片，所述提升机构的所述升降台用于提升所述基板和所述晶片；所述第一搬运机构的机械臂能够完成对所述晶片和所述基板的搬运；所述机械臂伸入所述暂存室，所述升降台匀速回落使所述晶片与所述机械臂前段石英爪接触； 所述第一搬运机构为负压搬运机构，所述暂存室设置在所述负压搬运机构外侧。

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