中润新能源(滁州)有限公司陈杰获国家专利权
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龙图腾网获悉中润新能源(滁州)有限公司申请的专利一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116913811B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310795562.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置是由陈杰;丁仪设计研发完成，并于2023-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置，关于硅片制备技术领域，包括外壳体、堵片检测机构、硅片运送组件、输送组件和硅片暂存柜，所述外壳体内设置有内壳体，所述内壳体上设置有多个密封盖，所述堵片检测机构设置在内壳体的内部，用于检测内壳体内硅片的状态，内壳体能够对堵片的硅片进行标记，所述硅片运送组件滑动连接在内壳体的内部，用于对堵片检测机构标记的硅片进行吸附，所述输送组件设置在外壳体的一侧，所述输送组件与硅片运送组件相匹配，所述硅片暂存柜设置在靠近输送组件的一侧，用于临时存储硅片。与现有技术相比，根据本发明的一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置能够避免硅片与滚轮打滑后产生堵片造成撞片的情况。
本发明授权一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片去BSG工艺智能防堵片装置，其特征在于，包括： 外壳体，所述外壳体内设置有内壳体，所述内壳体上设置有多个密封盖，所述内壳体内设置有多个滚轮和清洗液，所述硅片位于滚轮上，所述滚轮带着硅片移动； 堵片检测机构，所述堵片检测机构设置在内壳体的内部，用于检测内壳体内硅片的状态，所述堵片检测机构能够对堵片的硅片进行标记； 硅片运送组件，所述硅片运送组件滑动连接在内壳体的内部，用于对堵片检测机构标记的硅片进行吸附； 输送组件，所述输送组件设置在外壳体的一侧，所述输送组件的一端位于内壳体的内部，所述输送组件远离内壳体的一端位于外壳体的外部； 通过所述硅片运送组件将硅片放置在输送组件上时，所述输送组件将硅片传送至硅片暂存柜内； 当需要对硅片暂存柜上的硅片取下时，通过所述输送组件运送至内壳体的内部； 硅片暂存柜，所述硅片暂存柜设置在靠近输送组件的一侧，用于临时存储硅片。
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