合肥博雷电气有限公司高龙获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥博雷电气有限公司申请的专利等离子体涂层清洗工艺参数计算方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117113844B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311115084.9,技术领域涉及:G06F30/27;该发明授权等离子体涂层清洗工艺参数计算方法是由高龙;温夕林;唐鹏设计研发完成,并于2023-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体涂层清洗工艺参数计算方法在说明书摘要公布了:本发明涉及等离子体清洗工艺参数计算技术领域,具体是等离子体涂层清洗工艺参数计算方法,包括以下步骤:首先获取以膜层材质和清洗速率为特征,以工艺参数为标签的实验数据;然后将实验数据输入到深度神经网络中进行训练,以得到训练好的深度神经网络模型;最后将膜层材质和清洗速率已知的待预测样本输入到训练好的深度神经网络模型中,预测出对应的工艺参数;本发明能够为等离子体涂层清洗过程提供准确的工艺参数,进而提高清洗的质量和效率。
本发明授权等离子体涂层清洗工艺参数计算方法在权利要求书中公布了:1.等离子体涂层清洗工艺参数计算方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、获取以膜层材质和清洗速率为特征,以工艺参数为标签的实验数据,膜层材质包括涂层材料种类和涂层厚度,清洗速率为每分钟清洗的涂层厚度,工艺参数包括微波功率、气体种类、各气体之间的比例和各气体的进气量; S2、对实验数据依次进行特征缩放处理和标准化处理后,将实验数据输入到深度神经网络中进行训练,以得到训练好的深度神经网络模型; S3、将膜层材质和清洗速率已知的待预测样本输入清洗控制模块,清洗控制模块将输入的待处理膜层材质和清洗速率要求传递给训练好的深度神经网络模型中,预测出对应的工艺参数,清洗控制模块将输出的工艺参数传递给微波等离子体清洗装置以调整微波发生器的微波功率; 在清洗过程中,实时监测清洗效果并与预期的清洗速率进行比较,如果清洗效果与预期不符,根据实际清洗效果对深度神经网络模型进行修正,以实现精确的涂层清洗过程。
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