内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司;内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司李思超获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司;内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司申请的专利一种氯硅烷提纯耦合冷氢化生产方法及其装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117003246B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311182837.8，技术领域涉及：C01B33/107；该发明授权一种氯硅烷提纯耦合冷氢化生产方法及其装置是由李思超;赵长森;牛强;李鹏;徐凯;冯海涛设计研发完成，并于2023-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氯硅烷提纯耦合冷氢化生产方法及其装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种氯硅烷提纯耦合冷氢化生产方法及其装置，涉及一种通过氢气带入湿润气体纯化三氯氢硅，并将接触后氢气用于多晶硅冷氢化反应的方法和装置。为解决多晶硅生产过程中氯硅烷B、P的杂质，以及载气浪费的问题，提出了先将尾气回收工段部分循环氢与纯度较高的水接触形成湿润氢气，再利用湿润氢气与氯硅烷接触，使氯硅烷发生反应去除其中杂质，接触后氢气经过放空装置进入冷氢化系统，氢气作为原料参与冷氢化反应。液相的杂质在精馏系统中实现高效净化，减少试剂的引入，氢气循环利用具有环境友好，无二次污染等优点，适合电子级多晶硅生产领域。
本发明授权一种氯硅烷提纯耦合冷氢化生产方法及其装置在权利要求书中公布了：1.一种氯硅烷提纯耦合冷氢化生产方法，其特征在于：包括以下步骤： 步骤S1：将尾气回收工段中的部分循环氢（1）通入水水蒸气中混合制成湿润氢气；所述循环氢中水分含量不得高于0.05%；循环氢与水水蒸气的混合方式为鼓泡、喷淋和喷射中的一种或多种组合方式；湿润氢气的温度保持在25℃-60℃，压力保持在0.1-1.0MPa； 步骤S2：将湿润氢气通入反应器（3）内与氯硅烷以及杂质发生反应，使得氯硅烷及杂质水解；控制湿润氢气通入反应器（3）的进气量，使反应器（3）中的水与氯硅烷的比例小于500mgkg； 步骤S3：水解后的氯硅烷形成含羟基的凝胶状物质，水解得到的物质与杂质形成高沸物； 步骤S4：将含有高沸物的氯硅烷料液通入精馏系统进行分离提纯氯硅烷，高沸点杂质从塔釜排出； 步骤S5：反应器（3）内未反应的氢气从反应器（3）顶部排出并与循环氢混合，混合后导入吸附柱（4）； 步骤S6：将经过吸附柱（4）除杂的氢气导入流化床（5）参与冷氢化反应。
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