买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉新毅东(上海)科技有限公司申请的专利一种掩膜版载台及掩膜版对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117369221B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311403135.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种掩膜版载台及掩膜版对准方法是由张琪;符友银设计研发完成，并于2023-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩膜版载台及掩膜版对准方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种掩膜版载台及掩膜版对准方法，掩膜版载台包括：底座和连接于底座上方的掩膜承托组件，底座沿同一轴向分别形成接版位和工作位，掩膜承托组件包括驱动组件和承托台本体，驱动组件带动承托台本体在接版位和工作位之间往复运动；接版位上方设置第一图像采集模块，第一图像采集模块检测由机械手运送至接版位的掩膜版与承托台本体之间相对位置，驱动组件带动承托台本体移动至与机械手承托的掩膜版对准处并承接由机械手传递的掩膜版。本发明用以解决技术中存在的掩膜版对准过程较为繁琐进而导致影响半导体制程效率的问题。

本发明授权一种掩膜版载台及掩膜版对准方法在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版载台，其特征在于，包括：底座和连接于底座上方的掩膜承托组件，所述底座沿同一轴向分别形成接版位和工作位，所述掩膜承托组件包括驱动组件和承托台本体，所述驱动组件带动所述承托台本体在接版位和工作位之间往复运动； 所述接版位上方设置第一图像采集模块，所述第一图像采集模块检测由机械手运送至所述接版位的掩膜版与承托台本体之间相对位置，所述驱动组件带动所述承托台本体移动至与机械手承托的掩膜版对准处并承接由机械手传递的掩膜版； 所述驱动组件包括：安装板、主驱动构件以及微调装置，所述承托台本体固接于所述安装板远离底座一侧，所述主驱动构件包括两个直线驱动装置和两个连接座，两个所述直线驱动装置分别固接于所述底座的两个长度方向分布的立面处； 所述微调装置连接于所述连接座的上表面，所述微调装置带动所述安装板沿垂直于直线驱动装置的驱动端移动方向位移，两个所述直线驱动装置分别通过两个连接座带动微调装置和安装板同步在接版位和工作位之间往复运动； 所述微调装置包括直线驱动构件和连接板，所述直线驱动构件固接于一个所述连接座的上表面，所述连接板设置于所述连接座上方并与直线驱动构件的驱动端相连，所述连接板与安装板垂直于长度方向一端固定； 所述安装板远离连接板一端固接支撑板，所述直线驱动构件带动所述连接板沿垂直于所述连接座的运动方向位移的过程中所述支撑板与连接座滑移配合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人新毅东(上海)科技有限公司，其通讯地址为：201700 上海市青浦区华新镇北青公路3888号20幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。