拉普拉斯新能源科技股份有限公司朱太荣获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利片材载具上下料装置和方法、反应炉系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118763034B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410732586.4,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权片材载具上下料装置和方法、反应炉系统是由朱太荣;张武;刘群设计研发完成,并于2024-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本片材载具上下料装置和方法、反应炉系统在说明书摘要公布了:本公开涉及半导体或光伏技术领域,具体涉及一种片材载具上下料装置和方法、反应炉系统,解决了由于悬臂桨结构的桨变形,导致片材载具进出反应炉时相对于反应炉的位置的调节难度大的问题。片材载具上下料装置包括:承载板、炉外轨道和推舟组件,承载板水平放置于地面或者机架,炉外轨道和推舟组件均设置于承载板上,炉外轨道用于承载片材载具,能够与反应炉的炉内轨道对接。在炉外轨道与炉内轨道对接时,推舟组件对片材载具施加推力或拉力,以使片材载具被推入或拉出反应炉。该片材载具上下料装置取代了悬臂桨结构承载片材载具,不存在变形的问题,降低了片材载具进出反应炉时相对于反应炉的位置的调节难度。
本发明授权片材载具上下料装置和方法、反应炉系统在权利要求书中公布了:1.一种片材载具上下料装置,其特征在于,应用于反应炉,所述反应炉具有反应腔和炉口,所述炉口位于所述反应腔的侧面,所述反应炉还包括至少一个炉内轨道,所述炉内轨道设置于所述反应腔的底部; 其中,所述片材载具上下料装置包括: 承载板,水平放置于地面或者机架; 至少一个炉外轨道,设置于所述承载板上,能够与所述炉内轨道对接,被配置为承载片材载具,所述片材载具包括滚轮,所述滚轮能够在所述炉外轨道和所述炉内轨道上滚动; 推舟组件,设置于所述承载板上,被配置为对放置于所述炉外轨道上的所述片材载具施加沿所述炉外轨道的延伸方向的推力或拉力; 限位件,设置于所述承载板上,并设置于所述炉外轨道的下方,所述限位件具有限位部,所述限位部延伸至所述炉外轨道的侧面,被配置为对所述滚轮进行限位; 弹性件,设置于所述限位件的下方; 其中,在所述炉外轨道与所述炉内轨道对接的情况下,所述炉外轨道的延伸方向与所述炉内轨道的延伸方向相同,其中,所述推舟组件对所述炉外轨道上的所述片材载具施加沿所述炉外轨道的延伸方向的推力,以使所述滚轮相对于所述炉外轨道和所述炉内轨道滚动,所述片材载具被推入所述反应腔;或者,所述推舟组件对所述炉内轨道上的所述片材载具施加沿所述炉外轨道的延伸方向的拉力,以使所述滚轮相对于所述炉外轨道和所述炉内轨道滚动,所述片材载具被拉出所述反应腔; 其中,在所述推舟组件对所述炉外轨道上的所述片材载具施加沿所述炉外轨道的延伸方向的推力或拉力的过程中,所述滚轮对所述限位件施加压力,以压缩所述弹性件,使所述滚轮越过所述限位件继续在所述炉外轨道上滚动; 其中,所述滚轮包括: 第一限位轮; 第二限位轮; 连接轴,所述连接轴连接所述第一限位轮和所述第二限位轮; 其中,所述连接轴与所述炉外轨道的顶部接触,所述第一限位轮与所述炉外轨道的一侧接触,所述第二限位轮与所述炉外轨道的另一侧接触; 其中,所述限位件具有第一承载槽,所述第一承载槽被配置为容纳所述炉外轨道的底部和与所述炉外轨道的底部连接的所述炉外轨道的部分侧面; 其中,所述限位部的上表面具有弧形凹槽,所述弧形凹槽的延伸方向与所述第一承载槽的延伸方向垂直,所述弧形凹槽能够容纳至少部分所述第一限位轮和或至少部分所述第二限位轮。
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