合肥工业大学劳召欣获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利一种基于激光加工引导毛细力调控Micro-LED排布的方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118741891B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410769124.X,技术领域涉及:H05K3/30;该发明授权一种基于激光加工引导毛细力调控Micro-LED排布的方法及装置是由劳召欣;刘欣;夏豪杰;吴思竹;张亚超设计研发完成,并于2024-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于激光加工引导毛细力调控Micro-LED排布的方法及装置在说明书摘要公布了:本发明涉及超快激光微纳加工与半导体光电技术的交叉领域,公开了一种基于激光加工引导毛细力调控Micro‑LED排布的方法,包括如下步骤:步骤1、对电路基板进行表面修饰,以改变基板表面的亲疏水性;步骤2、进行激光加工;将电路基板置于载物台上,设计激光加工参数,使用激光在电路基板表面加工诱导均匀的周期性沟槽微结构,使其表面具有超疏水的特性;本发明克服了以往只能在均匀基板表面实现流体自组装的弊端,通过超快激光对材料表面亲疏水性的选择性调控,能在材料不均且表面图案复杂的基板上实现微纳芯片自组装,以低成本高通量的技术完成微芯片的排布,据此实现Micro‑LED巨量转移。
本发明授权一种基于激光加工引导毛细力调控Micro-LED排布的方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种基于激光加工引导毛细力调控Micro-LED排布的方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤1、对电路基板进行表面修饰,以改变基板表面的亲疏水性; 步骤2、进行激光加工;将电路基板置于载物台上,设计激光加工参数,使用激光在电路基板表面加工诱导均匀的周期性沟槽微结构,使其表面具有超疏水的特性; 步骤3、亲疏水性测试,对步骤2加工制得的样品进行亲疏水性测试; 步骤4、加工微挡板;在测试完成的电路基板表面旋涂一层负性光刻胶,利用光刻技术在芯片预组装位置加工微挡板,阻止微芯片继续向前运动,并且在微挡板制作成型后利用显影液去除光刻胶未曝光的部分; 步骤5、调控界面接触线;利用水对两区域润湿性的差异,调控其界面接触线,通过改变水线形貌控制毛细力的方向,从而实现对Micro-LED芯片的毛细力边缘位置调控; 步骤6、构建均匀磁场,磁场方向自下而上用来调控Micro-LED电极方向,使得芯片的电极两端随着液体流动的过程中总是保持与基板垂直,避免正负极方向颠倒; 步骤7、界面毛细力自组装;芯片随着液体流动至基板上目标位置,在芯片预组装处被微挡板隔离。
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