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龙图腾网获悉中国船舶集团有限公司第七〇七研究所申请的专利基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119020748B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410973288.4，技术领域涉及：C23C16/26；该发明授权基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法是由张戈辉;路想想;赵倩云;刘简;王杰英设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，包括：1、将金属箔弯折形成波浪板，并将波浪板与金属箔裁切成等尺寸的长条矩形；2、将步骤1裁切成型的金属箔片与金属波浪板进行表面清洗；3、将清洗后的金属箔片与金属波浪板置于低压化学气相沉积系统的反应区域，在金属箔片与金属波浪板的表面进行石墨烯的可控镀膜；4、将镀膜的金属箔片与金属波浪板取出并进行测量表征；5、使用氧气等离子体对石墨烯镀膜表面进行处理；6、将金属箔片与金属波浪板上下依次堆叠，并插入到一个筒状外壳的方孔中，内部形成发射微孔结构，完成原子束流发射结构的制备。本发明降低了石墨烯在微孔中的镀膜难度，提升了镀膜的均匀性。

本发明授权基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于石墨烯镀膜的高品质原子束流发射结构的制备方法，其特征在于：通过分步组装制作发射结构，实现石墨烯的均匀镀膜，所述制备方法包括如下步骤： 步骤1、将金属箔弯折形成波浪板，并根据实验需求将波浪板与金属箔裁切成等尺寸的长条矩形； 步骤2、将步骤1裁切成型的金属箔片与金属波浪板进行表面清洗，以去除材料本体及机加工导致的表面颗粒杂质； 步骤3、将清洗后的金属箔片与金属波浪板置于低压化学气相沉积系统的反应区域，在金属箔片与金属波浪板的表面进行石墨烯的可控镀膜； 步骤4、将镀膜的金属箔片与金属波浪板取出并进行测量表征； 步骤5、使用氧气等离子体对石墨烯镀膜表面进行处理； 步骤6、将金属箔片与金属波浪板上下依次堆叠，并插入到一个筒状外壳的方孔中，内部形成发射微孔结构，完成原子束流发射结构的制备； 步骤1中，金属箔弯折形成波浪板通过相对旋转的一组锯齿滚轴压制成型； 步骤5中，将镀了石墨烯镀膜的金属箔片与金属波浪板放入氧气等离子体处理系统，控制氧气的气压为0.1Pa，功率为100W，处理时间为3分钟。

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