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哈尔滨工业大学刘俭获国家专利权

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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置与方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118914203B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411010417.6,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置与方法是由刘俭;刘辰光;华子杰;谷康设计研发完成,并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置与方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置及方法,涉及共焦显微测量技术领域,该装置包括:调制照明模块和信号采集解调模块;在调制照明模块中,通过不同分数阶的涡旋相位图,调制得到不同分数阶的涡旋光,以对待测样品进行扫描,不同分数阶的涡旋光照射在待测样品上后反射出去;通过信号采集解调模块采集反射光并生成暗场图像;最后,根据不同分数阶的涡旋光下生成的暗场图像进行互相关处理,即可得到高信噪比数据;本申请提供的上述装置采用不同分数阶涡旋光照明样品并进行暗场探测,可同时获取缺陷对多阶涡旋分量的响应,提高了微小缺陷的信号强度,利用互相关算法能够有效抑制共模噪声,凸显纳米级缺陷微弱的相关信息。

本发明授权基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置与方法在权利要求书中公布了:1.一种基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置,其特征在于,包括:调制照明模块、待测样品、三维电动位移台和信号采集解调模块; 所述调制照明模块,用于通过不同分数阶的涡旋相位图,调制得到不同分数阶的涡旋光,以对所述待测样品进行扫描,不同分数阶的所述涡旋光照射在所述待测样品上后反射出去;所述待测样品固定在所述三维电动位移台上,所述三维电动位移台用于带动所述待测样品在所述调制照明模块的视场内进行移动;所述调制照明模块包括:激光器、二维光学衍射元件、转盘和扩束器;所述二维光学衍射元件上以环形排列方式刻蚀有若干幅不同分数阶的涡旋相位图;所述激光器用于发射激光;所述二维光学衍射元件用于利用任一分数阶的涡旋相位图将所述激光调制为对应分数阶的涡旋光;所述转盘用于旋转所述二维光学衍射元件,使得所述二维光学衍射元件能够利用不同分数阶的涡旋相位图对所述激光进行调制;所述扩束器用于对所述涡旋光进行扩束后输出; 所述信号采集解调模块,用于:采集不同分数阶的涡旋光照射在所述待测样品上后反射出的反射光,并生成暗场图像;针对任一分数阶的所述涡旋光,所述信号采集解调模块生成一张暗场图像;根据不同分数阶的涡旋光下生成的暗场图像进行互相关处理,得到高信噪比数据。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学,其通讯地址为:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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