中国科学技术大学刘刚获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利极紫外波带片的设计、制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118962974B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411027649.2,技术领域涉及:G02B27/00;该发明授权极紫外波带片的设计、制备方法和应用是由刘刚;张宽强;吴朝;熊瑛;田扬超;关勇设计研发完成,并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本极紫外波带片的设计、制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明提供了一种用于极紫外波段聚焦的波带片设计方法,包括:确定预设的物距p;确定预设的像距q;确定极紫外波长λ;在p+q的值小于750nλ的值以及的值小于50nλ的值情况下,根据下式得到第n环带半径rn:在p+q的值大于或等于750nλ的值以及的值大于或等于50nλ的值情况下,根据下式得到第n环带半径rn:根据rn值设计极紫外波带片的各个环带半径;根据极紫外波带片的预设直径和最外环宽,以及各个环带半径设计极紫外波带片。使用本发明方法设计得到的波带片,通过设立两个判断条件使设计出的波带片具有更高的衍射效率和成像质量。
本发明授权极紫外波带片的设计、制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种极紫外波带片的设计方法,其中,包括: 确定预设的物距p; 确定预设的像距q; 确定极紫外波长λ; 在p+q的值小于750nλ的值的情况下,根据式1得到第n环带半径rn: 在p+q的值大于或等于750nλ的值以及的值小于50nλ的值情况下,根据式2得到第n环带半径rn: 在p+q的值大于或等于750nλ的值以及的值大于或等于50nλ的值情况下,根据式3得到第n环带半径rn: 根据rn值设计极紫外波带片的各个环带半径; 根据所述极紫外波带片的预设直径和最外环宽,以及所述各个环带半径设计极紫外波带片。
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