江苏影速集成电路装备股份有限公司陈海巍获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏影速集成电路装备股份有限公司申请的专利LDI拼接改善方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119126498B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411040044.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权LDI拼接改善方法、装置、设备及存储介质是由陈海巍;徐广峰;乔忠德设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本LDI拼接改善方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及一种LDI拼接改善方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：基于获取多个预设位置曝光校正图案形成的实际曝光图案，计算不同空间光调制器在不同位置曝光图形的误差值；基于所述误差值计算不同空间光调制器在不同位置翻转所需的脉冲数量；获取所述脉冲数量与对应空间光调制器的映射关系；基于所述映射关系对空间光调制器的脉冲数量进行调整，并基于调整后的脉冲数量进行曝光。采用本方法能够通过获取曝光校正图案形成的实际曝光图案，计算不同空间光调制器在不同位置曝光图形的误差值，基于误差值计算不同空间光调制器在不同位置翻转的脉冲数量，使得空间光调制器直接根据调整后的脉冲数量进行翻转，来克服运动台在运动过程中产生运动误差导致的不同光路在不同位置曝光的图形拼接错位问题。
本发明授权LDI拼接改善方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种LDI拼接改善方法，其特征在于，所述方法包括： 获取多个预设位置曝光校正图案形成的实际曝光图案，计算空间光调制器曝光图形的误差值； 基于所述误差值计算空间光调制器翻转所需的脉冲数量； 获取所述脉冲数量与对应空间光调制器的映射关系； 基于所述映射关系对空间光调制器的脉冲数量进行调整，并基于调整后的脉冲数量进行曝光。
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