北京理工大学赵维谦获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利大线性响应范围横向差动共焦传感测量方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118961154B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411059086.5,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权大线性响应范围横向差动共焦传感测量方法及装置是由赵维谦;邱丽荣设计研发完成,并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本大线性响应范围横向差动共焦传感测量方法及装置在说明书摘要公布了:本发明涉及光学精密测量技术领域,提供了一种大线性响应范围横向差动共焦传感测量方法及装置,该方法在传统的共焦探测光路中以光轴为分界线遮挡一半探测光束,将被测表面的离焦量变化转为探测焦面上光斑横向离轴变化的横向差动共焦TDC探测;然后通过探测器阵列分割探测焦面上的光斑,将探测的相邻强度信号两两差动相减得到多组归一化TDC响应曲线,并对其线性段进行拟合拼接,得到具有大线性响应区的差动共焦特性曲线,在兼顾分辨力的同时实现了大范围传感测量。该方法可为精密元件面形、三维表面结构等领域提供了高精度大范围快速传感扫描测量新方法。
本发明授权大线性响应范围横向差动共焦传感测量方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种大线性响应范围横向差动共焦传感测量方法,其特征在于,所述方法包括: S1、构建横向差动共焦检测光路,其中所述横向差动共焦检测光路基于共焦光路改进获得,共焦光路包括经过物镜汇聚的聚焦光束和经过会聚镜汇聚的探测光束,聚焦光束汇聚于被测表面,在会聚镜和会聚镜的探测焦平面之间以光轴为分界线遮挡一半探测光束,且探测焦平面处设置有基于光轴对称的多个物理针孔,物理针孔后设置有多像元探测器,多像元探测器上的各个像元对照射到探测焦平面的光斑进行分割检测,以获得横向差动共焦检测光路; S2、获取各个像元的光强响应信号曲线,所述各个像元的光强响应信号曲线用于表征各个像元的光强响应信号与被测表面的离焦量的对应关系,其中,所述被测表面的离焦量为被测表面与物镜焦平面之间的距离; S3、对相邻两像元的光强响应信号曲线进行差动相减归一化处理,得到归一化TDC响应曲线: 其中,In为第n个像元的光强响应信号曲线,IDn为第n个像元的归一化TDC响应曲线,所述归一化TDC响应曲线为归一化横向差动共焦响应曲线; S4、对各个像元的归一化TDC响应曲线选取拟合线性段并进行拟合,以获得归一化TDC响应拟合曲线,其中,第n个像元的拟合线性段的最小值对应的轴向坐标的数值与第n+1个像元的拟合线性段的最大值对应的轴向坐标的数值相等; S5、对任意两个相邻像元的归一化TDC响应拟合线性段进行拼接,获得大线性传感区间响应曲线,基于获取到的不同像元的检测光强响应信号和所述大线性传感区间的响应曲线对被测表面进行传感测量,解算出被测表面相对于物镜焦平面的离焦量。
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