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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119062706B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411064203.7，技术领域涉及：F16F9/02；该发明授权一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置是由于程隆;李斌;李天一;赵勃;谭久彬设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置在说明书摘要公布了：一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置，本发明为解决在超精密加工过程中，如何有效隔离振动的问题，本发明包括隔振器上板、隔振器下板、隔振器气腔、主动减振单元和隔振器气腔安装在隔振器上板和隔振器下板之间，隔振器气腔的一侧设有主动减振单元。本发明保证垂向低刚度，水平向准零刚度特点，垂向还可以通过外加气室减小刚度。主动减振单元部分主要包含一个水平电机和垂向电机，可以实现两个方向的主动控制。由三台及以上此隔振装置还可以组装成一个六自由度零刚度的主动隔振系统。兼顾负载能力大、刚度极低、隔振效高的优点，能满足光刻系统的隔振需求。本发明属于精密仪器振动隔离控制技术领域。

本发明授权一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置在权利要求书中公布了：1.一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振器，包括隔振器上板（1）、隔振器下板（2）、隔振器气腔（3）、主动减振单元和隔振器气腔（3）安装在隔振器上板（1）和隔振器下板（2）之间，隔振器气腔（3）的一侧设有主动减振单元；其特征在于： 所述隔振器气腔（3）包括隔振器内缸（3-1）、隔振器外缸（3-2）、橡胶铰链（3-3）和内缸环带（3-4），隔振器内缸（3-1）和隔振器外缸（3-2）由内至外设置，隔振器上板（1）的下表面通过橡胶铰链（3-3）与隔振器内缸（3-1）的上端连接，隔振器内缸（3-1）和隔振器外缸（3-2）之间设有内缸环带（3-4）；所述隔振器内缸（3-1）的上端设有上顶针（3-5）和下顶针（3-6），橡胶铰链（3-3）位于上顶针（3-5）和下顶针（3-6）之间； 所述主动减振单元包括水平音圈电机（6）、垂向音圈电机（7）、传感器支架（8）、电机支架（9）和水冷分头（10），电机支架（9）竖直安装在隔振器上板（1）和隔振器下板（2）之间位于隔振器气腔（3）的左侧，水平音圈电机（6）和垂向音圈电机（7）分别安装在电机支架（9）的两侧，传感器支架（8）竖直安装在隔振器上板（1）和隔振器下板（2）之间，水冷分头（10）安装在隔振器下板（2）的上表面；垂向音圈电机（7）包括垂向电机线圈，所述垂向电机线圈包括水冷快速接头（7-1）、温度传感器航插头（7-2）、线圈航插头（7-3）、电机线圈框架（7-4）、温度传感器（7-5）和铜质线圈（7-6），铜质线圈（7-6）通过电机线圈框架（7-4）上凹槽与线圈航插头（7-3）连接，温度传感器（7-5）通过电机线圈框架外部的温度传感器航插头（7-2）与控制器通信；水冷快速接头（7-1）有两个，分别作为水冷液体入口和出口，不区分方向单向从入口通水并从出口接入水冷箱，在电机线圈框架（7-4）中形成回字形水冷通道。

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