上海富柏化工有限公司;珠海松柏科技有限公司;深圳市松柏科工股份有限公司夏金良获国家专利权
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龙图腾网获悉上海富柏化工有限公司;珠海松柏科技有限公司;深圳市松柏科工股份有限公司申请的专利硅片切割液获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118879391B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411103635.4,技术领域涉及:C10M173/02;该发明授权硅片切割液是由夏金良;饶猛;徐敏;李润亮;黎应峰;李华冰;邓秋影设计研发完成,并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片切割液在说明书摘要公布了:本发明涉及一种硅片切割液,其包括以下质量百分比的组分:20~30%的湿润剂、2~5%的增溶剂、20~30%的润滑剂、1.5~3.5%的冷却剂、1.0~2.0%的防锈剂、0.3~0.7%的杀菌剂、0.3~0.7%的%的螯合剂、0.1~0.5%的电荷调整剂和余量水。其中,润滑剂包括AirDynol607表面活性剂、聚醚PE6400和465润湿剂中的任意一种或其组合;冷却剂包括异己二醇、聚乙二醇200、二甘醇和三甘醇中的任意一种或其组合;防锈剂包括水基防锈用表面活性剂、三乙醇胺硼酸酯和植酸中的任意一种或其组合。本发明提供一种低电导率、低粘度且防锈效果佳的硅片切割液,提高硅片切割效率和成品质量。
本发明授权硅片切割液在权利要求书中公布了:1.一种硅片切割液,其特征在于,包括以下质量百分比的组分:25%的润湿剂、3%的增溶剂、25%的润滑剂、2.5%的冷却剂、1.5%的防锈剂、0.5%的杀菌剂、0.5%的螯合剂、0.3%的电荷调整剂和余量水,其中, 所述润滑剂包括AirDynol607表面活性剂、聚醚PE6400和465润湿剂中的任意一种或其组合; 所述冷却剂包括异己二醇、聚乙二醇200、二甘醇和三甘醇中的任意一种或其组合; 所述防锈剂包括水基防锈用表面活性剂、三乙醇胺硼酸酯和植酸中的任意一种或其组合; 所述润湿剂包括巴斯夫反式聚醚RPE1740、巴斯夫反式聚醚RPE1720和巴斯夫反式聚醚RPE25R2中的任意一种或其组合; 所述增溶剂包括N-乙基己基-β-亚氨基二丙氨酸钠、H66磷酸酯聚醚和二甲苯磺酸钠中的任意一种或其组合; 所述螯合剂包括四羟丙基乙二胺、羟基乙叉二膦酸和α-葡庚糖酸钠中的任意一种或其组合; 所述杀菌剂包括异噻唑啉酮、苯甲酸和水杨酸中的任意一种或其组合; 所述电荷调整剂为LutronPVI季胺化聚乙烯咪唑或亨斯迈ZerostatEP抗静电剂。
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