上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司施钦天获国家专利权
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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390497U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422022478.6，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置是由施钦天;屠国强;刘志鹏;崔佳伟设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置，属于晶圆技术领域，适用于封闭式设备前端模块，封闭式设备前端模块包括用以搬移前开式晶圆盒的晶圆盒传输机构；包括：固定框架，安装有承载台；承载台上开设有缺口，以供晶圆盒传输机构的机械手穿过；晶圆盒开闭机构，设置于固定框架的窗口处；第一晶圆状态检测机构，位于晶圆盒开闭机构的上方；升降机构，安装在固定框架上，升降机构带动晶圆盒开闭机构以及第一晶圆状态检测机构同步升降；升降机构上还设有用以检测第一晶圆状态检测机构位置的第二晶圆状态检测机构。有益效果：通过在承载台上开设缺口，适用于封闭式设备前端模块；同时采用双检测机制，提高检测结果的准确性。
本实用新型一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置，其特征在于，适用于封闭式设备前端模块，所述封闭式设备前端模块包括用以搬移前开式晶圆盒的晶圆盒传输机构；所述装置包括： 固定框架1，所述固定框架1的正面上安装有用以装载所述前开式晶圆盒的承载台3；所述承载台3上开设有缺口，以供所述晶圆盒传输机构的机械手穿过； 晶圆盒开闭机构2，设置于所述固定框架1背面上段的窗口处，以打开或闭合所述前开式晶圆盒的盒盖； 第一晶圆状态检测机构6，位于所述晶圆盒开闭机构2的上方； 升降机构4，固定安装在所述固定框架1上，且所述升降机构4位于所述承载台3的下方，所述升降机构4通过连接杆7带动所述晶圆盒开闭机构2以及带动所述第一晶圆状态检测机构6同步升降； 所述升降机构4上还设有用以检测所述第一晶圆状态检测机构6位置的第二晶圆状态检测机构。
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