苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司黄姚裕获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司申请的专利一种机台晶圆传送端口安全指示装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390498U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422075206.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种机台晶圆传送端口安全指示装置是由黄姚裕设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种机台晶圆传送端口安全指示装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种机台晶圆传送端口安全指示装置，属于半导体晶圆加工技术领域。该机台晶圆传送端口安全指示装置包括端口组件和连接组件，所述端口组件包括刻蚀机台、端口平台、感应器和指示灯，所述连接组件包括安装板、压套和弹性卡接件，所述安装板设置于所述端口平台拐角处，所述指示灯位于所述安装板和所述压套之间，通过设置刻蚀机台、端口平台、感应器和指示灯，能够根据晶圆放置到位时压到感应器，使得指示灯变化，从而方便工作人员快速判断放置是否到位，对人员培训专业度要求降低，通过设置安装板、压套和弹性卡接件，通过采用压套和弹性卡接件卡接连接的方式，将指示灯安装到安装板上，方便拆装维修更换。
本实用新型一种机台晶圆传送端口安全指示装置在权利要求书中公布了：1.一种机台晶圆传送端口安全指示装置，其特征在于，包括 端口组件100，所述端口组件100包括刻蚀机台110、端口平台120、感应器130和指示灯150，所述端口平台120位于所述刻蚀机台110移出，所述感应器130设置于所述端口平台120顶部，所述指示灯150位于所述端口平台120一侧，所述感应器130和所述指示灯150电性连接； 连接组件200，所述连接组件200包括安装板210、压套230和弹性卡接件240，所述安装板210设置于所述端口平台120拐角处，所述指示灯150位于所述安装板210和所述压套230之间，所述压套230贯穿所述安装板210，所述弹性卡接件240设置于所述压套230端部且抵接于所述安装板210。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区19幢1楼2楼3楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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